Основні принципи & Класифікація промислового вакуумного обладнання

  Вакуумне обладнання відноситься до повного набору пристроїв, які видаляють молекули газу з герметичних камер для формування тиску нижче стандартного атмосферного тиску. (101325 Па), що є базовим обладнанням для сучасного високоточного виробництва-технологічні галузі. На відміну від загального хибного розуміння, вакуум не означає нульового молекулярного існування, а середовище з різко зниженою щільністю газу та подовженим вільним пробігом молекул, що є основною фізичною основою для всіх технологій вакуумної обробки. Сорти промислового вакууму поділяються на грубий вакуум (10⁵~10²па), середній вакуум (10²~10⁻¹па), високий вакуум (10⁻¹~10⁻⁵Па) і ультра-високий вакуум (нижче 10⁻⁵Па), узгоджене з диференційованим насосним обладнанням для поступової евакуації.

　　Серцевий вакуум-генеруюче обладнання поділяється на три основні категорії: механічні насоси для чорнової обробки, високоякісні насоси-вакуумні молекулярні насоси та захоплення-типу кріогенних насосів. Лопастно-роторні насоси та сухі гвинтові насоси домінують у створенні грубого вакууму; Роторно-лопатеві насоси використовують ексцентричний ротор і телескопічні лопаті для механічного стиснення газу, широко використовуються як передні насоси для попереднього-евакуації, поки нафто-Безкоштовні сухі гвинтові насоси використовують подвійні гвинтові ротори з нульовим внутрішнім контактом, що виключає ризик забруднення олією для чистих виробничих ліній. Турбомолекулярні насоси працюють на 20 тис–90 000 об\/хв мульти-лопатки турбіни ступеня, передаючи кінетичну енергію молекулам газу для висок-вакуумне накачування до 10 торр, стандартне ядро для напівпровідникового обладнання та обладнання для нанесення покриттів. Кріонасоси конденсують усі молекули газу на ультра-низький-температура кріогенних поверхонь нижче 120 К, що спричиняє забруднення-безкоштовно ультра-високий вакуум ідеально підходить для оптичного покриття та тестування космічних компонентів.

 
　　Повні вакуумні системи також містять допоміжні компоненти: вакуумні клапани для трубопроводу на-вимкнено, вакуумметри справді-контроль тиску за часом, газові фільтри та детектори витоків, щоб уникнути виділення газів із системи та проникнення повітря. В останні десятиліття інтелектуальні вакуумні модулі керування поступово замінюють ручне регулювання, забезпечуючи автоматичний запуск насоса-зупинка та стабілізація тиску, що значно скорочує витрати на експлуатацію обладнання та кількість відмов. Від лабораторних малих вакуумних камер до тонни-промислові печі для нанесення покриттів рівня, конфігурація градуйованого вакууму залишається основною логікою проектування всього вакуумного обладнання в наш час.