Основни принципи & Класификация на промишленото вакуумно оборудване

  Вакуумното оборудване се отнася до пълен набор от устройства, премахващи газови молекули от запечатани камери, за да образуват налягане под стандартното атмосферно налягане (101325Pa), служейки като основен хардуер в модерното прецизно производство и високо-технологични индустрии. За разлика от общото недоразумение, вакуумът не означава нулево молекулярно съществуване, а среда с драстично намалена плътност на газа и удължен свободен път на молекулите, основната физическа основа за всички технологии за обработка на вакуум. Индустриалните вакуумни степени се разделят на груб вакуум (10⁵~10²татко), среден вакуум (10²~10⁻¹татко), висок вакуум (10⁻¹~10⁻⁵Pa) и ултра-висок вакуум (под 10⁻⁵Pa), съчетани с диференцирано помпено оборудване за градуирана евакуация.

　　Вакуум в ядрото-Генериращият хардуер попада в три основни категории: механични груби помпи, високи-вакуумни молекулярни помпи и улавяне-тип криогенни помпи. Ротационните лопаткови помпи и сухите винтови помпи доминират грубото генериране на вакуум; ротационните лопаткови помпи приемат ексцентричен ротор и телескопични лопатки за механично компресиране на газ, широко използвани като предни помпи за предварителна-евакуация, докато масло-безплатните сухи винтови помпи използват двойни взаимосвързани винтови ротори с нулев вътрешен контакт, елиминирайки риска от замърсяване с масло за чисти производствени линии. Турбомолекулярните помпи работят на 20 000–90 000 RPM мулти-турбинни лопатки, пренасящи кинетична енергия към газови молекули за високо-вакуумно изпомпване до 10 Torr, стандартното ядро за оборудване за полупроводници и покрития. Криопомпите кондензират всички газови молекули на ултра-ниско-температурни криогенни повърхности под 120K, доставящи замърсяване-безплатно ултра-висок вакуум, идеален за оптично покритие и тестване на космически компоненти.

 
　　Цялостните вакуумни системи съдържат и спомагателни компоненти: вакуумни вентили за монтиране на тръбопровод-изключени, вакуумметри наистина-мониторинг на налягането във времето, газови филтри и детектори за течове, за да се избегне отделяне на газове от системата и проникване на въздух. През последните десетилетия модулите за интелигентно управление на вакуума постепенно заменят ръчното регулиране, позволявайки автоматично стартиране на помпата-спиране и стабилизиране на налягането, което значително намалява експлоатационните разходи на оборудването и честотата на отказите. От лабораторни малки вакуумни камери до тон-ниво пещи за промишлени покрития, градуираната вакуумна конфигурация остава основната логика на проектиране на цялото вакуумно оборудване в наши дни.