Bunphrionsabail & Aicmiú Trealaimh Fholúis Tionscail

  Tagraíonn trealamh folúis do shraith iomlán feistí a bhaintear móilíní gáis óna seomraí séalaithe chun brú a fhoirmiú faoi bhun brú caighdeánach an atmaisféir. (101325pa), ag fónamh mar crua-earraí foundational ar fud déantúsaíochtanua-aimseartha cruinneas agus ard-tionscail teicneolaíochta. Murab ionann agus míthuiscint choitianta,ní chiallaíonn folús a bheith annnáid mhóilíneach ach timpeallacht le dlús gáis laghdaithe go suntasach agus cosán fada saor ó mhóilíneach, an croí-bhonn fisiceach do gach teicneolaíocht próiseála i bhfolús. Tá gráid bhfolús tionsclaíoch roinnte i bhfolús garbh (10~10²Pa), bhfolús meánach (10²~10¹Pa), folús ard (10¹~10 Pa) agus ultra-bhfolús ard (faoi bhun 10 pa), a mheaitseáil le trealamh caidéalaithe difreáilte le haghaidh aslonnaithe grádaithe.

　　Folús lárnach-Titeann crua-earraí giniúna i dtrí chatagóir príomhshrutha: caidéil roughing meicniúla, ard-caidéil mhóilíneacha bhfolús agus gabháil-cineál caidéil chrióigineacha. Caidéil eite rothlacha agus caidéil scriú tirim is mó a ghintear garbh bhfolús; glacann caidéil eite rothlacha rótar eccentric agus eití teileascópacha chun gás a chomhbhrú go meicniúil, a úsáidtear go forleathan mar réamhphumpaí-aslonnaithe, agus ola-Úsáideann caidéil scriú tirim saor in aisce rotors scriúnasctha cúpla le teagmháil inmheánachnialasach, rud a chuireann deireadh le riosca éillithe ola do línte táirgeachta glan. Ritheann caidéil turbomóilíneacha ag 20,000–90,000 RPM il-lanna tuirbín céim, ag aistriú fuinneamh cinéiteach go móilíní gáis le haghaidh ard-caidéalú i bhfolús síos go dtí 10Torr, an croí caighdeánach do threalamh leathsheoltóra agus brataithe. Comhdhlúthaíonn cryopumps gach móilín gáis ar ultra-íseal-teocht dromchlaí crióigineacha faoi bhun 120K, ag seachadadh éillithe-Ultra saor in aisce,-folús ard oiriúnach le haghaidh sciath optúil agus tástáil comhpháirteanna spáis.

 
　　Tá comhpháirteanna cúnta i gcórais iomlána i bhfolús freisin: comhlaí folúis le haghaidh píblíne-as, tomhasairí bhfolús le haghaidh fíor-monatóireacht ar bhrú ama, scagairí gáis agus brathadóirí sceite chun gású an chórais agus insíothlú aeir a sheachaint. Le blianta beaga anuas, tá modúil rialaithe bhfolús Chliste in ionad rialachán láimhe de réir a chéile, rud a chuireann ar chumas caidéal uathoibríoch a thosú-cobhsú stad agus brú, costais oibriúcháin trealaimh agus rátaí teip a ghearradh go mór. Ó sheomraí beaga folúis saotharlainne go tonna-foirnéisí brataithe tionsclaíocha leibhéalta, tá cumraíocht grádaithe i bhfolús fós mar chroí-loighic deartha gach trealaimh folúis sa lá atá inniu ann.