Principes de base & Classification des équipements de vide industriel

  L'équipement sous vide fait référence à un ensemble complet de dispositifs éliminant les molécules de gaz des chambres scellées pour former une pression inférieure à la pression atmosphérique standard. (101325Pa), servant de matériel fondamental dans la fabrication de précision moderne et de haute qualité-industries technologiques. Contrairement aux idées reçues, le videne signifie pas une existence moléculairenulle, mais un environnement avec une densité de gaz considérablement réduite et un libre parcours moléculaire prolongé, la base physique essentielle de toutes les technologies de traitement sous vide. Les qualités de vide industriel sont divisées en vide grossier (10⁵~10²Papa), vide moyen (10²~10⁻¹Papa), vide poussé (10⁻¹~10⁻⁵Pa) et ultra-vide poussé (en dessous de 10⁻⁵Pa), associé à un équipement de pompage différencié pour une évacuation graduée.

　　Vide central-le matériel de génération se répartit en trois catégories principales : pompes brutes mécaniques, pompes à haute-pompes moléculaires à vide et capture-type pompes cryogéniques. Les pompes rotatives à palettes et les pompes sèches à vis dominent la génération de vide grossier ; Les pompes à palettes rotatives adoptent un rotor excentrique et des aubes télescopiques pour comprimer le gaz mécaniquement, largement utilisées comme pompes préliminaires pour les pré-pompes.-évacuation, tandis que le pétrole-Les pompes à vis sèches gratuites utilisent des rotors à vis doubles imbriqués sans contact interne, éliminant ainsi le risque de contamination par l'huile pour des lignes de production propres. Les pompes turbomoléculaires fonctionnent à 20 000–90 000 tr\/min-aubes de turbine d'étage, transférant l'énergie cinétique aux molécules de gaz pour une haute-pompage sous vide jusqu'à 10 Torr, lenoyau standard pour les équipements de semi-conducteurs et de revêtement. Les cryopompes condensent toutes les molécules de gaz sur ultra-faible-Surfaces cryogéniques à température inférieure à 120 K, générant une contamination-ultra gratuit-vide poussé idéal pour le revêtement optique et les tests de composants spatiaux.

 
　　Les systèmes de vide complets contiennent également des composants auxiliaires : vannes à vide pour canalisations-éteint, les vacuomètres pour de vrai-surveillance de la pression temporelle, filtres à gaz et détecteurs de fuites pour éviter les dégazages du système et les infiltrations d'air. Au cours des dernières décennies, les modules de contrôle du vide intelligents ont progressivement remplacé la régulation manuelle, permettant le démarrage automatique des pompes.-arrêt et stabilisation de la pression, réduisant considérablement les coûts d'exploitation des équipements et les taux de défaillance. Des petites chambres à vide de laboratoire à la tonne-Auniveau des fours de revêtement industriels, la configuration du vide progressif reste aujourd'hui la logique de conception centrale de tous les équipements sous vide.