Prinsip Dasar & Klasifikasi Peralatan Vakum Industri

  Peralatan vakum mengacu pada seperangkat perangkat lengkap yang menghilangkan molekul gas dari ruang tertutup untuk membentuk tekanan di bawah tekanan atmosfer standar (101325Pa), berfungsi sebagai perangkat keras dasar di seluruh manufaktur presisi modern dan tinggi-industri teknologi. Tidak seperti kesalahpahaman umum, vakum tidak berarti keberadaan molekulnol, melainkan lingkungan dengan kepadatan gas yang berkurang secara drastis dan jalur bebas molekul yang berkepanjangan, yang merupakan dasar fisik inti untuk semua teknologi pemrosesan vakum. Nilai vakum industri dibagi menjadi vakum kasar (10⁵~10²Pa), vakum sedang (10²~10⁻¹Pa), vakum tinggi (10⁻¹~10⁻⁵Pa) dan sangat-vakum tinggi (di bawah 10⁻⁵Pa), disesuaikan dengan peralatan pemompaan yang berbeda untuk evakuasi bertingkat.

　　Vakum inti-perangkat keras pembangkit terbagi dalam tiga kategori utama: pompa roughing mekanis, tinggi-pompa molekuler vakum dan menangkapnya-jenis pompa kriogenik. Pompa baling-baling putar dan pompa ulir kering mendominasi pembangkitan vakum kasar; pompa baling-baling putar mengadopsi rotor eksentrik dan baling-baling teleskopik untuk mengompres gas secara mekanis, banyak digunakan sebagai pompa depan untuk pra-evakuasi, sementara minyak-pompa ulir kering gratis menggunakan rotor sekrup kembar yang saling bertautan tanpa kontak internal, menghilangkan risiko kontaminasi oli untuk jalur produksi yang bersih. Pompa turbomolekuler bekerja pada 20.000–90,000 RPM multi-bilah turbin panggung, mentransfer energi kinetik ke molekul gas dengan kecepatan tinggi-pemompaan vakum hingga 10Torr, inti standar untuk peralatan semikonduktor dan pelapis. Cryopumps memadatkan semua molekul gas pada ultra-rendah-suhu permukaan kriogenik di bawah 120K, menghasilkan kontaminasi-gratis ultra-vakum tinggi ideal untuk pelapisan optik dan pengujian komponen ruang.

 
　　Sistem vakum lengkap juga mengandung komponen tambahan: katup vakum untuk saluran pipa-mati, pengukur vakum sebenarnya-pemantauan tekanan waktu, filter gas dan detektor kebocoran untuk menghindari keluarnya gas dari sistem dan infiltrasi udara. Dalam beberapa dekade terakhir, modul kontrol vakum cerdas secara bertahap menggantikan regulasi manual, sehingga memungkinkan penyalaan pompa otomatis-stabilisasi penghentian dan tekanan, sangat mengurangi biaya pengoperasian peralatan dan tingkat kegagalan. Dari ruang vakum laboratorium kecil hingga ton-tungku pelapis industri tingkat, konfigurasi vakum bertingkat tetap menjadi logika desain inti dari semua peralatan vakum saat ini.