គោលការណ៍ជាមូលដ្ឋាន & ចំណាត់ថ្នាក់នៃឧបករណ៍បូមធូលីឧស្សាហកម្ម

  បរិក្ខារបូមធូលី សំដៅលើសំណុំពេញលេញនៃឧបករណ៍ដែលយកម៉ូលេគុលឧស្ម័នចេញពីបន្ទប់បិទជិត ដើម្បីបង្កើតសម្ពាធក្រោមសម្ពាធបរិយាកាសស្តង់ដារ។ (101325 ប៉ា)បម្រើជាផ្នែករឹងមូលដ្ឋាននៅទូទាំងការផលិតភាពជាក់លាក់ទំនើប និងខ្ពស់។-ឧស្សាហកម្មបច្ចេកវិទ្យា។ មិនដូចការយល់ច្រលំទូទៅទេ ការបូមធូលីមិនមានន័យថាអត្ថិភាពនៃម៉ូលេគុលសូន្យទេ ប៉ុន្តែជាបរិយាកាសដែលមានដង់ស៊ីតេឧស្ម័នថយចុះយ៉ាងខ្លាំង និងផ្លូវទំនេរម៉ូលេគុលអូសបន្លាយ ដែលជាមូលដ្ឋានរូបវន្តស្នូលសម្រាប់បច្ចេកវិជ្ជាដំណើរការបូមធូលីទាំងអស់។ ថ្នាក់បូមធូលីឧស្សាហកម្មត្រូវបានបែងចែកទៅជាម៉ាស៊ីនបូមធូលីរដុប (10⁵~១០²ប៉ា), ទំនេរមធ្យម (១០²~១០⁻¹ប៉ា), កន្លែងទំនេរខ្ពស់។ (១០⁻¹~10⁻⁵ប៉ា) និងជ្រុល-កន្លែងទំនេរខ្ពស់។ (ក្រោម 10⁻⁵Pa)ដែលត្រូវគ្នាជាមួយឧបករណ៍បូមទឹកដែលខុសគ្នាសម្រាប់ការជម្លៀសតាមលំដាប់ថ្នាក់។

　　ម៉ាស៊ីនបូមធូលីស្នូល-ការបង្កើតផ្នែករឹងធ្លាក់ចូលទៅក្នុងប្រភេទចម្បងបី: ម៉ាស៊ីនបូមរដុបមេកានិច, ខ្ពស់។-ម៉ាស៊ីនបូមម៉ូលេគុលបូមធូលី និងចាប់យក-ប្រភេទម៉ាស៊ីនបូមទឹក cryogenic ។ ម៉ាស៊ីនបូមទឹក Rotary vane និងម៉ាស៊ីនបូមវីសស្ងួតគ្របដណ្ដប់លើការបង្កើតម៉ាស៊ីនបូមធូលីរដុប។ ម៉ាស៊ីនបូម rotary vane ទទួលយក rotor eccentric និង telescopic vanes ដើម្បីបង្ហាប់ឧស្ម័នដោយមេកានិច ត្រូវបានគេប្រើយ៉ាងទូលំទូលាយជា forepumps សម្រាប់មុន-ការជម្លៀសខណៈពេលដែលប្រេង-ម៉ាស៊ីនបូមវីសស្ងួតដោយឥតគិតថ្លៃប្រើ rotors វីស interlocking ភ្លោះជាមួយនឹងទំនាក់ទំនងខាងក្នុងសូន្យ, លុបបំបាត់ហានិភ័យនៃការចម្លងរោគប្រេងសម្រាប់ខ្សែផលិតកម្មស្អាត។ ម៉ាស៊ីនបូម Turbomolecular ដំណើរការនៅ 20,000–90,000 RPM ពហុ-ដំណាក់កាលទួរប៊ីន blades ផ្ទេរថាមពល kinetic ទៅម៉ូលេគុលឧស្ម័នសម្រាប់កម្រិតខ្ពស់-ការបូមធូលីចុះក្រោមដល់ 10Torr ដែលជាស្នូលស្តង់ដារសម្រាប់ឧបករណ៍ semiconductor និងថ្នាំកូត។ Cryopumps បង្រួមម៉ូលេគុលឧស្ម័នទាំងអស់នៅលើជ្រុល-ទាប-សីតុណ្ហភាពផ្ទៃ cryogenic ក្រោម 120K ផ្តល់នូវការចម្លងរោគ-ឥតគិតថ្លៃជ្រុល-កន្លែងទំនេរខ្ពស់ល្អសម្រាប់ថ្នាំកូតអុបទិក និងការធ្វើតេស្តសមាសធាតុអវកាស។

 
　　ប្រព័ន្ធបូមធូលីពេញលេញក៏មានសមាសធាតុជំនួយផងដែរ៖ សន្ទះបូមធូលីសម្រាប់បើកបំពង់-បិទ, រង្វាស់សុញ្ញកាសសម្រាប់ពិត-ការត្រួតពិនិត្យសម្ពាធពេលវេលា តម្រងឧស្ម័ន និងឧបករណ៍រាវរកលេចធ្លាយ ដើម្បីជៀសវាងការហូរចេញនៃប្រព័ន្ធ និងការជ្រៀតចូលខ្យល់។ ក្នុងប៉ុន្មានទសវត្សរ៍ចុងក្រោយនេះ ម៉ូឌុលត្រួតពិនិត្យម៉ាស៊ីនបូមធូលីឆ្លាតវៃជំនួសបន្តិចម្តងៗនូវបទប្បញ្ញត្តិដោយដៃ ដោយបើកដំណើរការម៉ាស៊ីនបូមដោយស្វ័យប្រវត្តិ។-បញ្ឈប់ និងស្ថេរភាពសម្ពាធ កាត់បន្ថយការចំណាយប្រតិបត្តិការឧបករណ៍ និងអត្រាបរាជ័យយ៉ាងខ្លាំង។ ពីមន្ទីរពិសោធន៍ បន្ទប់បូមធូលីតូចទៅតោន-កម្រិតនៃចង្រ្កានថ្នាំកូតឧស្សាហកម្ម ការកំណត់រចនាសម្ព័ន្ធម៉ាស៊ីនបូមធូលីដែលចាត់ថ្នាក់នៅតែជាតក្កវិជ្ជារចនាស្នូលនៃឧបករណ៍បូមធូលីទាំងអស់នាពេលបច្ចុប្បន្ននេះ។