Principi di base & Classificazione delle apparecchiature per il vuoto industriale

  Le apparecchiature per il vuoto si riferiscono a una serie completa di dispositivi che rimuovono le molecole di gas dalle camere sigillate per formare una pressione inferiore alla pressione atmosferica standard (101325Pa), fungendo da hardware fondamentale per la moderna produzione di precisione e di alta qualità-industrie tecnologiche. A differenza dei malintesi comuni, il vuotonon significa esistenza molecolare zero ma un ambiente con densità di gas drasticamente ridotta e percorso libero molecolare prolungato, la base fisica fondamentale per tutte le tecnologie di lavorazione del vuoto. I gradi di vuoto industriale si dividono in vuoto grossolano (10⁵~10²Papà), vuoto medio (10²~10⁻¹Papà), alto vuoto (10⁻¹~10⁻⁵Pa) e ultra-alto vuoto (inferiore a 10⁻⁵Pa), abbinati ad attrezzature di pompaggio differenziate per un'evacuazione graduale.

　　Vuoto centrale-l'hardware di generazione rientra in tre categorie principali: pompe meccaniche per sgrossatura, alta-pompe molecolari da vuoto e cattura-tipo pompe criogeniche. Le pompe rotative a palette e le pompe a vite a secco dominano la generazione del vuoto approssimativo; le pompe rotative a palette adottano rotore eccentrico e palette telescopiche per comprimere meccanicamente il gas, ampiamente utilizzate come pompe anteriori per pre-evacuazione, mentre il petrolio-Le pompe a vite a secco utilizzano rotori a doppia vite interbloccati con contatto interno pari a zero, eliminando il rischio di contaminazione dell'olio per linee di produzione pulite. Le pompe turbomolecolari funzionano a 20.000–Multiplo da 90.000 giri\/min-pale della turbina a stadio, trasferendo l'energia cinetica alle molecole di gas per un effetto elevato-pompaggio a vuoto fino a 10Torr, ilnucleo standard per apparecchiature per semiconduttori e rivestimento. Le criopompe condensano tutte le molecole di gas sull'ultra-basso-superfici criogeniche con temperatura inferiore a 120K, causando contaminazione-ultra gratuito-alto vuoto ideale per rivestimenti ottici e test di componenti spaziali.

 
　　I sistemi per vuoto completi contengono anche componenti ausiliari: valvole per vuoto per tubazioni-spenti, vacuometri per davvero-monitoraggio temporale della pressione, filtri gas e rilevatori di perdite per evitare degassamenti del sistema e infiltrazioni d'aria. Negli ultimi decenni, i moduli intelligenti di controllo del vuoto hanno gradualmente sostituito la regolazione manuale, consentendo l’avvio automatico della pompa-arresto e stabilizzazione della pressione, riducendonotevolmente i costi operativi delle apparecchiature e i tassi di guasto. Dalle piccole camere da vuoto da laboratorio al ton-Nei forni di rivestimento industriali a livello, la configurazione del vuoto graduato rimane oggi la logica di progettazione principale di tutte le apparecchiature per il vuoto.