Nguyên tắc cơ bản & Phân loại thiết bị hút chân không côngnghiệp

  Thiết bị chân không đề cập đến một bộ thiết bị đầy đủ loại bỏ các phân tử khí khỏi buồng kín để tạo thành áp suất dưới áp suất khí quyển tiêu chuẩn (101325Pa), đóng vai trò là phần cứngnền tảng trong sản xuất có độ chính xác hiện đại và chất lượng cao-cácngành côngnghệ. Không giốngnhư sự hiểu lầm thông thường, chân không không cónghĩa là không tồn tại phân tử mà là một môi trường có mật độ khí giảm đáng kể và đường đi tự do của phân tử kéo dài, cơ sở vật lý cốt lõi cho tất cả các côngnghệ xử lý chân không. Các loại chân không côngnghiệp được chia thành chân không thô (10⁵~10²Pa), chân không trung bình (10²~10⁻¹Pa), độ chân không cao (10⁻¹~10⁻⁵Pa) và cực-chân không cao (dưới 10⁻⁵Pa), phù hợp với thiết bị bơm khác biệt để sơ tán theo cấp độ.

　　chân không lõi-phần cứng tạo ra rơi vào ba loại chính: máy bơm thô cơ khí, cao-bơm phân tử chân không và chụp-loại máy bơm đông lạnh. Máy bơm cánh gạt quay và máy bơm trục vít khô chiếm ưu thế trong việc tạo chân không thô; máy bơm cánh gạt quay sử dụng rôto lệch tâm và cánh gạt dạng ống lồng đểnén khí một cách cơ học, được sử dụng rộng rãi làm bơm trước cho quá trình sơ bộ.-sơ tán, trong khi dầu-Máy bơm trục vít khô tự do sử dụng cánh quạt trục vít đôi khóa liên động không tiếp xúc bên trong, loại bỏnguy cơnhiễm bẩn dầu để đảm bảo dây chuyền sản xuất sạch sẽ. Máy bơm phân tử chạy ở tốc độ 20.000–90.000 vòng\/phút-cánh tuabin giai đoạn, truyền độngnăng cho các phân tử khí ở tốc độ cao-bơm chân không xuống tới 10Torr, lõi tiêu chuẩn cho thiết bị bán dẫn và lớp phủ. Cryopumpsngưng tụ tất cả các phân tử khí trên cực-thấp-nhiệt độ bề mặt đông lạnh dưới 120K, gây ônhiễm-miễn phí cực-độ chân không cao lý tưởng cho việc thửnghiệm lớp phủ quang học và thành phần không gian.

 
　　Hệ thống chân không hoàn chỉnh còn có các bộ phận phụ trợ: van chân không cho đường ống trên-tắt, đồng hồ đo chân không thật-giám sát áp suất thời gian, bộ lọc khí và thiết bị phát hiện rò rỉ để tránh hiện tượng thoát khí và xâmnhập của không khí vào hệ thống. Trongnhững thập kỷ gần đây, mô-đun điều khiển chân không thông minh dần thay thế quy định thủ công, cho phép khởi động bơm tự động-dừng và ổn định áp suất, cắt giảm đáng kể chi phí vận hành thiết bị và tỷ lệ hỏng hóc. Từ phòng thínghiệm buồng chân khôngnhỏ đến tấn-lò sơn côngnghiệp cấp độ, cấu hình chân không được phân loại vẫn là logic thiết kế cốt lõi của tất cả các thiết bị chân không hiệnnay.