기본원리 & 산업용 진공 장비의 분류

  진공 장비는 밀봉된 챔버에서 가스 분자를 제거하여 표준 대기압 이하의 압력을 형성하는 전체 장치 세트를 말합니다. (101325Pa), 현대 정밀 제조 및 높은 수준의 기반 하드웨어 역할을 합니다.-기술 산업. 일반적인 오해와 달리 진공은 분자가 전혀 존재하지 않는다는 의미가 아니라 모든 진공 처리 기술의 핵심 물리적 기반인 가스 밀도가 급격히 감소하고 분자 자유 경로가 길어진 환경을 의미합니다. 산업용 진공 등급은 거친 진공으로 구분됩니다. (10⁵~10²파), 중간 진공 (10²~10⁻¹파), 고진공 (10⁻¹~10⁻⁵Pa) 그리고 울트라-고진공 (10⁻⁵Pa 이하), 단계별 대피를 위한 차별화된 펌핑 장비와 일치합니다.

　　코어 진공-하드웨어 생성은 세 가지 주요 범주로 분류됩니다. 기계식 러핑 펌프, 고속-진공 분자 펌프 및 캡처-극저온 펌프를 입력합니다. 로터리 베인 펌프와 건식 스크류 펌프는 거친 진공 생성을 지배합니다. 로터리 베인 펌프는 편심 로터와 텔레스코픽 베인을 채택하여 가스를 기계적으로 압축하며 예비 펌프로 널리 사용됩니다.-대피하는 동안 기름-프리 드라이 스크류 펌프는 내부 접촉이 전혀 없는 트윈 인터로킹 스크류 로터를 사용하여 깨끗한 생산 라인을 위한 오일 오염 위험을 제거합니다. 터보분자 펌프는 20,000에서 작동합니다.–90,000RPM 멀티-스테이지 터빈 블레이드, 높은 운동 에너지를 가스 분자로 전달-반도체 및 코팅 장비의 표준 코어인 10Torr까지 진공 펌핑합니다. 크라이오펌프는 모든 가스 분자를 초고압으로 응축합니다.-낮음-120K 미만의 극저온 표면, 오염 전달-무료 울트라-광학 코팅 및 우주 부품 테스트에 이상적인 고진공입니다.

 
　　전체 진공 시스템에는 보조 구성 요소도 포함되어 있습니다. 파이프라인용 진공 밸브-꺼져, 진짜 진공 게이지-시간 압력 모니터링, 가스 필터 및 누출 감지기를 통해 시스템 가스 방출 및 공기 침투를 방지합니다. 최근 수십 년 동안 지능형 진공 제어 모듈이 점차 수동 조절을 대체하여 자동 펌프 시작이 가능해졌습니다.-정지 및 압력 안정화를 통해 장비 운영 비용과 고장률을 크게 절감합니다. 실험실 소형 진공 챔버부터 톤까지-레벨 산업용 코팅로, 등급별 진공 구성은 오늘날 모든 진공 장비의 핵심 설계 논리로 남아 있습니다.