หลักการพื้นฐาน & การจำแนกประเภทของอุปกรณ์สูญญากาศทางอุตสาหกรรม

  อุปกรณ์สูญญากาศหมายถึงอุปกรณ์ครบชุดในการขจัดโมเลกุลของก๊าซออกจากห้องที่ปิดสนิทเพื่อสร้างความดันที่ต่ำกว่าความดันบรรยากาศมาตรฐาน (101325ปา)ซึ่งทำหน้าที่เป็นฮาร์ดแวร์พื้นฐานสำหรับการผลิตที่มีความแม่นยำสมัยใหม่และระดับสูง-อุตสาหกรรมเทคโนโลยี แตกต่างจากความเข้าใจผิดทั่วไป สุญญากาศไม่ได้หมายถึงการดำรงอยู่ของโมเลกุลเป็นศูนย์ แต่เป็นสภาพแวดล้อมที่มีความหนาแน่นของก๊าซลดลงอย่างมากและเส้นทางที่ปราศจากโมเลกุลที่ยืดเยื้อ ซึ่งเป็นพื้นฐานทางกายภาพหลักสำหรับเทคโนโลยีการประมวลผลสุญญากาศทั้งหมด เกรดสูญญากาศทางอุตสาหกรรมแบ่งออกเป็นสูญญากาศหยาบ (10⁵~10²ป้า),สูญญากาศปานกลาง (10²~10⁻¹ป้า),สูญญากาศสูง (10⁻¹~10⁻⁵ป่า) และพิเศษ-สูญญากาศสูง (ต่ำกว่า 10⁻⁵Pa)จับคู่กับอุปกรณ์สูบน้ำที่แตกต่างกันเพื่อการอพยพแบบแบ่งระดับ

　　แกนสุญญากาศ-ฮาร์ดแวร์การผลิตแบ่งออกเป็นสามประเภทหลัก: ปั๊มหยาบเชิงกล, สูง-ปั๊มโมเลกุลสุญญากาศและการจับ-ประเภทปั๊มแช่แข็ง ปั๊มใบพัดโรตารีและปั๊มสกรูแห้งมีส่วนสำคัญในการสร้างสุญญากาศแบบหยาบ ปั๊มใบพัดหมุนใช้โรเตอร์ประหลาดและใบพัดยืดไสลด์เพื่อบีบอัดก๊าซด้วยเครื่องจักร ใช้กันอย่างแพร่หลายเป็น forepumps สำหรับก่อน-อพยพขณะน้ำมัน-ปั๊มสกรูแห้งแบบอิสระใช้โรเตอร์สกรูแบบประสานคู่ที่ไม่มีการสัมผัสภายในเป็นศูนย์ ช่วยลดความเสี่ยงในการปนเปื้อนน้ำมันสำหรับสายการผลิตที่สะอาด ปั๊มเทอร์โบโมเลกุลทำงานที่ 20,000–หลายรอบ 90,000 รอบต่อนาที-ใบพัดกังหันแบบขั้นส่งพลังงานจลน์ไปยังโมเลกุลของก๊าซให้สูง-ปั๊มสุญญากาศลงไปที่ 10Torr ซึ่งเป็นแกนมาตรฐานสำหรับอุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์และอุปกรณ์เคลือบ Cryopumps ควบแน่นโมเลกุลของก๊าซทั้งหมดในระดับอัลตร้า-ต่ำ-พื้นผิวแช่แข็งที่อุณหภูมิต่ำกว่า 120K ทำให้เกิดการปนเปื้อน-ฟรีพิเศษ-สุญญากาศสูงเหมาะสำหรับการทดสอบการเคลือบด้วยแสงและส่วนประกอบในอวกาศ

 
　　ระบบสุญญากาศที่สมบูรณ์ยังมีส่วนประกอบเสริมด้วย เช่น วาล์วสุญญากาศสำหรับวางท่อ-ปิดเกจสุญญากาศของจริง-การตรวจสอบความดันตามเวลา ตัวกรองก๊าซ และเครื่องตรวจจับการรั่วไหลเพื่อหลีกเลี่ยงไม่ให้ระบบปล่อยก๊าซและการแทรกซึมของอากาศ ในช่วงไม่กี่ทศวรรษที่ผ่านมา โมดูลควบคุมสุญญากาศอัจฉริยะค่อยๆ เข้ามาแทนที่การควบคุมแบบแมนนวล ซึ่งทำให้สามารถสตาร์ทปั๊มอัตโนมัติได้-การหยุดและการรักษาเสถียรภาพของแรงดัน ช่วยลดต้นทุนการดำเนินงานของอุปกรณ์และอัตราความล้มเหลวได้อย่างมาก จากห้องแล็บสุญญากาศขนาดเล็กไปจนถึงตัน-เตาเคลือบอุตสาหกรรมระดับ การกำหนดค่าสูญญากาศอย่างช้าๆ ยังคงเป็นตรรกะการออกแบบหลักของอุปกรณ์สูญญากาศทั้งหมดในปัจจุบัน