Principii de bază & Clasificarea echipamentelor industriale de vid

  Echipamentul de vid se referă la un set complet de dispozitive care elimină moleculele de gaz din camerele sigilate pentru a forma presiune sub presiunea atmosferică standard (101325Pa), servind ca hardware de bază în producția modernă de precizie și înaltă-industriile tehnologice. Spre deosebire deneînțelegerea obișnuită, vidulnu înseamnă existență moleculară zero, ci un mediu cu o densitate de gaz drastic redusă și o cale moleculară prelungită, baza fizică de bază pentru toate tehnologiile de procesare în vid. Clasele de vid industrial sunt împărțite în vid brut (10⁵~10²Pa), vid mediu (10²~10⁻¹Pa), vid înalt (10⁻¹~10⁻⁵Pa) si ultra-vid înalt (sub 10⁻⁵Pa), asortat cu echipamente de pompare diferentiate pentru evacuare gradata.

　　Miez de vid-hardware de generare se încadrează în trei categorii principale: pompe mecanice de degroșare, înalte-pompe moleculare de vid și captare-tip pompe criogenice. Pompele cu palete rotative și pompele cu șurub uscat domină generarea de vid brut; pompele rotative cu palete adoptă rotor excentric și palete telescopice pentru a comprima gazul mecanic, utilizate pe scară largă ca pompe înainte pentru pre-evacuare, în timp ce ulei-pompele cu șurub uscat gratuit utilizează rotoare cu șuruburi duble interblocate cu contact intern zero, eliminând riscul de contaminare cu ulei pentru liniile de producție curate. Pompele turbomoleculare funcționează la 20.000–90.000 RPM multi-palete de turbină de etapă, transferând energie cinetică moleculelor de gaz pentru mare-pomparea vidului până la 10Torr, miezul standard pentru echipamentele semiconductoare și de acoperire. Criopompele condensează toate moleculele de gaz pe ultra-scăzută-suprafețe criogenice cu temperatură sub 120K, producând contaminare-ultra gratuit-vid înalt ideal pentru acoperirea optică și testarea componentelor spațiale.

 
　　Sistemele complete de vid conțin și componente auxiliare: supape de vid pentru conductă-oprit, vacuometre pe bune-monitorizarea presiunii în timp, filtre de gaz și detectoare de scurgeri pentru a evita degazarea sistemului și infiltrarea aerului. În ultimele decenii, modulele inteligente de control al vidului înlocuiesc treptat reglarea manuală, permițând pornirea automată a pompei-oprirea și stabilizarea presiunii, reducând considerabil costurile de funcționare a echipamentelor și ratele de eșec. De la camere mici de vid de laborator până la tonă-cuptoare industriale de acoperire lanivel, configurația cu vid gradat rămâne logica de proiectare de bază a tuturor echipamentelor de vid în zilelenoastre.