Perusperiaatteet & Teollisuuden tyhjiölaitteiden luokitus

  Tyhjiölaitteistolla tarkoitetaan täydellistä sarjaa laitteita, jotka poistavat kaasumolekyylejä suljetuista kammioista paineen muodostamiseksinormaalin ilmakehän paineen alapuolelle (101325Pa), joka toimii perustavanlaatuisena laitteistonanykyaikaisessa tarkkuusvalmistuksessa ja korkeassa-teknologiateollisuudessa. Toisin kuin tavallinen väärinkäsitys, tyhjiö ei tarkoitanollamolekyylien olemassaoloa, vaan ympäristöä, jossa kaasutiheys on jyrkästi pienentynyt ja molekyylin vapaa polku on pitkittynyt, mikä on kaikkien tyhjiökäsittelyteknologioiden fyysinen perusta. Teollisuustyhjiölaadut jaetaan karkeisiin tyhjiöihin (10⁵~10²Pa), keskityhjiö (10²~10⁻¹Pa), korkea tyhjiö (10⁻¹~10⁻⁵Pa) ja ultra-korkea tyhjiö (alle 10⁻⁵Pa), yhdistettynä erotettuihin pumppauslaitteisiin porrastettua evakuointia varten.

　　Ydintyhjiö-tuotantolaitteistot jakautuvat kolmeen pääluokkaan: mekaaniset rouhintapumput, korkeat-tyhjiömolekyylipumput ja talteenotto-tyyppiset kryogeeniset pumput. Pyörivät siipipumput ja kuivaruuvipumput hallitsevat karkeaa tyhjiön muodostusta; pyörivät siipipumput käyttävät epäkeskoroottoria ja teleskooppisiipiä puristamaan kaasua mekaanisesti, joita käytetään laajalti esipumppuina-evakuointi, kun taas öljyä-ilmaisissa kuivaruuvipumpuissa käytetään kahta lukittavaa ruuviroottoria, joissa ei ole sisäistä kosketusta, mikä eliminoi öljyn saastumisriskin puhtailla tuotantolinjoilla. Turbomolekyylipumput käyvät 20 000–90 000 RPM monitoimi-vaiheen turbiinin siivet, siirtävät kineettistä energiaa kaasumolekyyleihin korkeaksi-tyhjiöpumppaus 10 Torriin, puolijohde- ja pinnoituslaitteiden vakioydin. Kryopumput kondensoivat kaikki kaasumolekyylit ultralla-alhainen-lämpötilan kryogeeniset pinnat alle 120K, aiheuttaen kontaminaatiota-ilmainen ultra-korkea tyhjiö, ihanteellinen optiseen pinnoitukseen ja avaruuskomponenttien testaukseen.

 
　　Täydelliset tyhjiöjärjestelmät sisältävät myös apukomponentteja: tyhjiöventtiilit putkistoa varten-pois, tyhjiömittarit todella-aikapaineen valvonta, kaasusuodattimet ja vuodonilmaisimet järjestelmän kaasunpoiston ja ilman tunkeutumisen välttämiseksi. Viime vuosikymmeninä älykkäät tyhjiöohjausmoduulit ovat vähitellen korvanneet manuaalisen säädön mahdollistaen pumpun automaattisen käynnistyksen-pysäytys ja paineen stabilointi, mikä vähentää huomattavasti laitteiden käyttökustannuksia ja epäonnistumisasteita. Laboratorion pienistä tyhjiökammioista tonniin-tason teollisuuspinnoitusuunit, porrastettu tyhjiökonfiguraatio on edelleen kaikkien tyhjiölaitteiden suunnittelulogiikka.