Basisprincipes & Classificatie van industriële vacuümapparatuur

  Vacuümapparatuur verwijstnaar een volledige reeks apparaten die gasmoleculen uit afgesloten kamers verwijderen om een druk te creëren die lager is dan de standaard atmosferische druk (101325Pa), dat dient als fundamentele hardware voor moderne precisieproductie en high-technische industrieën. In tegenstelling tot wat vaak wordt gedacht, betekent vacuümniet dat er geen moleculair bestaan ​​bestaat, maar een omgeving met een drastisch verminderde gasdichtheid en een verlengd moleculair vrij pad, de belangrijkste fysieke basis voor alle vacuümverwerkingstechnologieën. Industriële vacuümkwaliteiten zijn onderverdeeld in ruwvacuüm (10⁵~10²Pa), middenvacuüm (10²~10⁻¹Pa), hoog vacuüm (10⁻¹~10⁻⁵Pa) en ultra-hoog vacuüm (onder 10⁻⁵Pa), gecombineerd met gedifferentieerde pompapparatuur voor geleidelijke evacuatie.

　　Kernvacuüm-het genereren van hardware valt in drie reguliere categorieën: mechanische voorbewerkingspompen, hoog-vacuüm moleculaire pompen en opvang-type cryogene pompen. Draaischuifpompen en droge schroefpompen domineren de ruwe vacuümopwekking; roterende schottenpompen gebruiken excentrische rotor en telescopische schoepen om gas mechanisch te comprimeren, veel gebruikt als voorpompen voor pre-evacuatie, terwijl olie-Vrije droge schroefpompen maken gebruik van dubbele in elkaar grijpende schroefrotoren zonder intern contact, waardoor het risico op olieverontreiniging voor schone productielijnen wordt geëlimineerd. Turbomoleculaire pompen draaien op 20.000–90.000 tpm multi-turbinebladen in fasen, waarbij kinetische energie hoog wordt overgebrachtnaar gasmoleculen-vacuümpompen tot 10Torr, de standaardkern voor halfgeleider- en coatingapparatuur. Cryopompen condenseren alle gasmoleculen op ultra-laag-temperatuur cryogene oppervlakken onder de 120K, waardoor verontreiniging ontstaat-gratis ultra-hoog vacuüm, ideaal voor het testen van optische coatings en ruimtecomponenten.

 
　　Complete vacuümsystemen bevatten ook hulpcomponenten: vacuümkleppen voor pijpleidingen-uit, vacuümmeters in het echt-tijdsdrukbewaking, gasfilters en lekdetectoren om ontgassing van het systeem en luchtinfiltratie te voorkomen. De afgelopen decennia hebben intelligente vacuümregelmodules geleidelijk de handmatige regeling vervangen, waardoor automatische pompstart mogelijk is-stop- en drukstabilisatie, waardoor de exploitatiekosten en het uitvalpercentage van de apparatuur aanzienlijk worden verlaagd. Van laboratorium kleine vacuümkamers tot ton-Niveau industriële coatingovens, graduele vacuümconfiguratie blijft tegenwoordig de kernontwerplogica van alle vacuümapparatuur.