Temel İlkeler & Endüstriyel Vakum Ekipmanlarının Sınıflandırılması

  Vakum ekipmanı, standart atmosferik basıncın altında basınç oluşturmak için gaz moleküllerini kapalı odalardan uzaklaştıran tam bir cihaz setini ifade eder. (101325Pa)Modern hassas üretim ve yüksek düzeyde temel donanım olarak hizmet veren-teknoloji endüstrileri. Yaygın yanlış anlamanın aksine, vakum, sıfır moleküler varlık anlamına gelmez, ancak büyük ölçüde azaltılmış gaz yoğunluğuna ve uzun süreli moleküler serbest yola sahip bir ortam anlamına gelir; bu, tüm vakum işleme teknolojilerinin temel fiziksel temelidir. Endüstriyel vakum kaliteleri kaba vakuma bölünmüştür (10⁵~10²Pa), orta vakum (10²~10⁻¹Pa), yüksek vakum (10⁻¹~10⁻⁵Pa) ve ultra-yüksek vakum (10⁻⁵Pa'nın altında)kademeli tahliye için farklılaştırılmış pompalama ekipmanıyla eşleştirilmiştir.

　　Çekirdek vakum-üretim donanımı üç ana kategoriye ayrılır: mekanik kaba işleme pompaları, yüksek-vakumlu moleküler pompalar ve yakalama-kriyojenik pompalar yazın. Döner kanatlı pompalar ve kuru vidalı pompalar kaba vakum üretiminde hakimdir; Döner kanatlı pompalar, gazı mekanik olarak sıkıştırmak için eksantrik rotor ve teleskopik kanatları kullanır; yaygın olarak ön pompa olarak kullanılır.-tahliye, petrol ise-serbest kuru vidalı pompalar, sıfır dahili temasa sahip ikiz kilitli vidalı rotorlar kullanır ve temiz üretim hatları için yağ kirlenmesi riskini ortadan kaldırır. Turbomoleküler pompalar 20.000'de çalışıyor–90.000 RPM çoklu-Aşamalı türbin kanatları, kinetik enerjiyi yüksek hızlarda gaz moleküllerine aktarır.-yarı iletken ve kaplama ekipmanı için standart çekirdek olan 10Torr'a kadar vakum pompalama. Kriyopompalar tüm gaz moleküllerini ultra-düşük-120K'nin altındaki kriyojenik yüzey sıcaklığı, kirlenmeye yol açar-ücretsiz ultra-optik kaplama ve uzay bileşeni testleri için ideal yüksek vakum.

 
　　Komple vakum sistemleri ayrıca yardımcı bileşenler de içerir: boru hattı için vakum valfleri-kapalı, gerçek vakum göstergeleri-sistem gaz çıkışını ve hava sızmasını önlemek için zaman basıncı izleme, gaz filtreleri ve sızıntı dedektörleri. Son yıllarda, akıllı vakum kontrol modülleri yavaş yavaş manuel düzenlemenin yerini alarak otomatik pompa çalıştırmayı mümkün kılıyor-durdurma ve basınç stabilizasyonu, ekipmanın işletme maliyetlerini ve arıza oranlarını büyük ölçüde azaltır. Laboratuvarın küçük vakum odalarından tonlara kadar-seviye endüstriyel kaplama fırınları, kademeli vakum konfigürasyonu günümüzde tüm vakum ekipmanlarının temel tasarım mantığı olmaya devam etmektedir.