Основные принципы & Классификация промышленного вакуумного оборудования

  Под вакуумным оборудованием понимается полный набор устройств, удаляющих молекулы газа из герметичных камер для создания давления ниже стандартного атмосферного давления. (101325Па), служащий основополагающим оборудованием в современном точном производстве и высоких-технологические отрасли. В отличие от распространенного заблуждения, вакуум означает не нулевое существование молекул, а среду с резко пониженной плотностью газа и увеличенным свободным пробегом молекул, что является основной физической основой всех технологий вакуумной обработки. Промышленные вакуумные марки делятся на грубые вакуумные. (10⁵~10²Па), средний вакуум (10²~10⁻¹Па), высокий вакуум (10⁻¹~10⁻⁵Па) и ультра-высокий вакуум (ниже 10⁻⁵Па), в сочетании с дифференцированным насосным оборудованием для поэтапной эвакуации.

　　Основной вакуум-генерирующее оборудование делится на три основные категории: механические форвакуумные насосы, высокопроизводительные-вакуум-молекулярные насосы и улавливание-типа криогенные насосы. Пластинчато-роторные насосы и сухие винтовые насосы доминируют в создании грубого вакуума; пластинчато-роторные насосы используют эксцентриковый ротор и телескопические лопасти для механического сжатия газа, широко используются в качестве форвакуумных насосов для предварительной очистки.-эвакуация, пока нефть-В сухих винтовых насосах Free используются сдвоенные винтовые роторы с блокировкой и нулевым внутренним контактом, что исключает риск загрязнения маслом и обеспечивает чистоту производственных линий. Турбомолекулярные насосы работают при 20 000–Мульти 90 000 об\/мин-лопатки турбины ступени, передающие кинетическую энергию молекулам газа для высокой-вакуумная откачка до давления 10 Торр, стандартного ядра для полупроводникового оборудования и оборудования для нанесения покрытий. Крионасосы конденсируют все молекулы газа на ультра-низкий-температура криогенных поверхностей ниже 120К, вызывающая загрязнение-бесплатный ультра-высокий вакуум идеально подходит для нанесения оптических покрытий и испытаний космических компонентов.

 
　　Комплектные вакуумные системы также содержат вспомогательные компоненты: вакуумные клапаны для трубопроводов на-выключено, вакуумметры настоящие-контроль времени и давления, газовые фильтры и детекторы утечек, чтобы избежать газовыделения системы и проникновения воздуха. В последние десятилетия интеллектуальные модули управления вакуумом постепенно заменяют ручное регулирование, обеспечивая автоматический запуск насоса.-остановка и стабилизация давления, что значительно снижает затраты на эксплуатацию оборудования и количество отказов. От лабораторных маленьких вакуумных камер до тонн-одноуровневые промышленные печи для нанесения покрытий, ступенчатая вакуумная конфигурация в настоящее время остается основной логикой проектирования всего вакуумного оборудования.