Βασικές Αρχές & Ταξινόμηση βιομηχανικού εξοπλισμού κενού

  Ο εξοπλισμός κενού αναφέρεται σε ένα πλήρες σύνολο συσκευών που αφαιρούν μόρια αερίου από σφραγισμένους θαλάμους για να σχηματίσουν πίεση κάτω από την τυπική ατμοσφαιρική πίεση (101325 Pa), που χρησιμεύει ως βασικό υλικό σε όλη τη σύγχρονη κατασκευή ακριβείας και υψηλή-βιομηχανίες τεχνολογίας. Σε αντίθεση με την κοινή παρεξήγηση, το κενό δεν σημαίνει μηδενική μοριακή ύπαρξη, αλλά ένα περιβάλλον με δραστικά μειωμένη πυκνότητα αερίου και παρατεταμένη ελεύθερη μοριακή διαδρομή, η βασική φυσική βάση για όλες τις τεχνολογίες επεξεργασίας κενού. Οι βιομηχανικές ποιότητες κενού χωρίζονται σε ακατέργαστο κενό (105~10²Pa), μεσαίου κενού (10²~10⁻¹Pa), υψηλό κενό (10⁻¹~10⁻5Pa) και ultra-υψηλό κενό (κάτω από 10⁻5Pa), σε συνδυασμό με διαφοροποιημένο εξοπλισμό άντλησης για διαβαθμισμένη εκκένωση.

　　Κενό πυρήνα-Ο εξοπλισμός παραγωγής εμπίπτει σε τρεις κύριες κατηγορίες: αντλίες μηχανικής χονδροποίησης, υψηλές-μοριακές αντλίες κενού και σύλληψη-τύπου κρυογονικές αντλίες. Οι αντλίες με περιστρεφόμενο πτερύγιο και οι αντλίες ξηρού κοχλία κυριαρχούν στην παραγωγή ακατέργαστου κενού. Οι αντλίες περιστροφικού πτερυγίου υιοθετούν έκκεντρο ρότορα και τηλεσκοπικά πτερύγια για τη μηχανική συμπίεση του αερίου, που χρησιμοποιούνται ευρέως ως μπροστινές αντλίες για προ-εκκένωσης, ενώ το πετρέλαιο-Οι αντλίες με δωρεάν ξηρό κοχλία χρησιμοποιούν διπλούς ρότορες αλληλασφάλισης με μηδενική εσωτερική επαφή, εξαλείφοντας τον κίνδυνο μόλυνσης λαδιού για καθαρές γραμμές παραγωγής. Οι στροβιλομοριακές αντλίες λειτουργούν στα 20.000–90.000 RPM πολλαπλ-σταδιακά πτερύγια τουρμπίνας, μεταφέροντας κινητική ενέργεια σε μόρια αερίου για υψηλή-άντληση κενού έως 10 Torr, τον τυπικό πυρήνα για εξοπλισμό ημιαγωγών και επίστρωσης. Οι κρυοαντλίες συμπυκνώνουν όλα τα μόρια αερίου στο ultra-χαμηλά-κρυογονικές επιφάνειες θερμοκρασίας κάτω από 120K, παρέχοντας μόλυνση-δωρεάν ultra-υψηλό κενό ιδανικό για οπτική επίστρωση και δοκιμές εξαρτημάτων χώρου.

 
　　Τα πλήρη συστήματα κενού περιέχουν επίσης βοηθητικά εξαρτήματα: βαλβίδες κενού για σωλήνωση-απενεργοποιημένο, μετρητές κενού πραγματικά-παρακολούθηση πίεσης χρόνου, φίλτρα αερίου και ανιχνευτές διαρροών για την αποφυγή αερίων του συστήματος και διείσδυσης αέρα. Τις τελευταίες δεκαετίες, οι έξυπνες μονάδες ελέγχου κενού αντικαθιστούν σταδιακά τη χειροκίνητη ρύθμιση, επιτρέποντας την αυτόματη εκκίνηση της αντλίας-σταθεροποίηση στάσης και πίεσης, μειώνοντας σημαντικά το κόστος λειτουργίας του εξοπλισμού και τα ποσοστά αστοχίας. Από εργαστηριακούς θαλάμους κενού έως τον τόνο-επίπεδων κλιβάνων βιομηχανικής επίστρωσης, η διαβαθμισμένη διαμόρφωση κενού παραμένει η βασική λογική σχεδιασμού όλου του εξοπλισμού κενού στις μέρες μας.