Podstawowe zasady & Klasyfikacja przemysłowych urządzeń próżniowych

  Sprzęt próżniowy odnosi się do pełnego zestawu urządzeń usuwających cząsteczki gazu z zamkniętych komór w celu wytworzenia ciśnienia poniżej standardowego ciśnienia atmosferycznego (101325Pa), służąc jako podstawowy sprzęt wnowoczesnej produkcji precyzyjnej i wysokiej-branże technologiczne. W przeciwieństwie do powszechnegonieporozumienia, próżnianie oznacza istnienia zerowej molekuły, ale środowisko o drastycznie zmniejszonej gęstości gazu i wydłużonej drodze swobodnej cząsteczek, co stanowi podstawową fizyczną podstawę wszystkich technologii przetwarzania próżniowego. Klasy próżni przemysłowej dzielą sięna próżnię szorstką (10⁵~10²Tata), średnia próżnia (10²~10⁻¹Tata), wysoka próżnia (10⁻¹~10⁻⁵Pa) i ultra-wysoka próżnia (poniżej 10⁻⁵Pa), w połączeniu ze zróżnicowanym sprzętem pompującym w celu stopniowej ewakuacji.

　　Rdzeń próżniowy-wytwarzający sprzęt można podzielićna trzy główne kategorie: mechaniczne pompy do obróbki zgrubnej, wysokie-próżniowe pompy molekularne i wychwytywanie-typu pompy kriogeniczne. Obrotowe pompy łopatkowe i suche pompy śrubowe dominują w wytwarzaniu zgrubnej próżni; obrotowe pompy łopatkowe wykorzystują mimośrodowy wirnik i łopatki teleskopowe do mechanicznego sprężania gazu, szeroko stosowane jako pompy wstępne do wstępnego-ewakuacja, podczas gdy olej-W pompach śrubowych typu Free Dry zastosowano podwójne, blokujące się wirniki śrubowe o zerowym kontakcie wewnętrznym, co eliminuje ryzyko zanieczyszczenia olejem w czystych liniach produkcyjnych. Pompy turbomolekularne pracują z prędkością 20 000–90 000 obr.\/min, wiele-łopatki turbiny stopniowej, przenoszące energię kinetycznąna cząsteczki gazu w celu uzyskania wysokiej wydajności-pompowanie próżniowe do 10 Torr, standardowego rdzenia dla sprzętu półprzewodnikowego i powlekającego. Pompy kriogeniczne kondensują wszystkie cząsteczki gazu w trybie ultra-niski-temperaturę powierzchni kriogenicznych poniżej 120 K, powodując zanieczyszczenie-darmowe ultra-wysoka próżnia, idealna do powlekania optycznego i testowania komponentów kosmicznych.

 
　　Kompletne systemy próżniowe zawierają także elementy pomocnicze: zawory podciśnieniowe do podłączenia rurociągu-wyłączone, wakuometrynaprawdę-czasowe monitorowanie ciśnienia, filtry gazu i wykrywaczenieszczelności, aby uniknąć odgazowania systemu i infiltracji powietrza. W ostatnich dziesięcioleciach inteligentne moduły kontroli podciśnienia stopniowo zastępują ręczną regulację, umożliwiając automatyczne uruchamianie pomp-zatrzymanie i stabilizacja ciśnienia, znacznie obniżając koszty eksploatacji sprzętu i awaryjność. Od laboratoryjnych małych komór próżniowych po tonę-w przemysłowych piecach do powlekaniana poziomie, stopniowana konfiguracja próżni pozostaje obecnie podstawową logiką projektowania wszystkich urządzeń próżniowych.