Alapelvek & Az ipari vákuumberendezések osztályozása

  A vákuumberendezés olyan eszközök teljes készletére vonatkozik, amelyek eltávolítják a gázmolekulákat a lezárt kamrákból, hogy anormál légkörinyomás alattinyomást képezzenek. (101325Pa), amely alapvető hardverként szolgál a modern precíziós gyártás és a magas-technológiai iparágak. A közkeletű félreértésektől eltérően a vákuumnemnulla molekuláris létet jelent, hanem drasztikusan csökkent gázsűrűségű és hosszabb molekuláris szabad úttal rendelkező környezetet, amely minden vákuumfeldolgozási technológia alapvető fizikai alapja. Az ipari vákuum minőségeket durva vákuumokra osztják (10⁵~10²Pa), közepes vákuum (10²~10⁻¹Pa),nagy vákuum (10⁻¹~10⁻⁵Pa) és ultra-nagy vákuum (10⁻⁵Pa alatt), kombinálva a fokozatos evakuáláshoz differenciált szivattyúberendezésekkel.

　　Mag vákuum-A hardver előállítása három fő kategóriába sorolható: mechanikusnagyoló szivattyúk, magas-vákuum molekuláris szivattyúk és befogás-típusú kriogén szivattyúk. A forgólapátos szivattyúk és a szárazcsigás szivattyúk uralják a durva vákuumtermelést; A forgólapátos szivattyúk excenteres forgórészeket és teleszkópos lapátokat alkalmaznak a gáz mechanikus sűrítésére, széles körben használják előszivattyúként-evakuálás, miközben olaj-Az ingyenes szárazcsavaros szivattyúk ikercsavaros forgórészeket használnak,nulla belső érintkezéssel, így kiküszöbölhető az olajszennyeződés veszélye a tiszta gyártósorokon. A turbomolekuláris szivattyúk 20 000-en működnek–90.000 RPM multi-fokozatú turbinalapátok, amelyek kinetikus energiát adnak át a gázmolekuláknak-vákuumszivattyúzás 10 torrnyomásig, amely a félvezető- és bevonóberendezések szabványos magja. A krioszivattyúk az összes gázmolekulát kondenzálják az ultrán-alacsony-120 K alatti hőmérsékletű kriogén felületek szennyeződést okozva-ingyen ultra-nagy vákuum ideális optikai bevonatokhoz és térelemek teszteléséhez.

 
　　A komplett vákuumrendszerek kiegészítő alkatrészeket is tartalmaznak: vákuumszelepeket a csővezetékhez-ki, vákuummérők az igazi-időnyomás-figyelés, gázszűrők és szivárgásérzékelők a rendszer gázkibocsátásának és a levegő beszivárgásának elkerülése érdekében. Az elmúlt évtizedekben az intelligens vákuumvezérlő modulok fokozatosan felváltják a kézi szabályozást, lehetővé téve az automatikus szivattyúindítást-leállítás ésnyomásstabilizálás, jelentősen csökkentve a berendezések üzemeltetési költségeit és a meghibásodási arányt. A laboratóriumi kis vákuumkamráktól a tonnáig-szintű ipari bevonó kemencék, a fokozatos vákuum konfiguráció továbbra is az összes vákuumberendezés tervezési logikája.