ជ្រុល-សម្អាតជ្រុល-ឧបករណ៍បូមធូលីខ្ពស់សម្រាប់អុបទិក & វាលលំហអាកាស

ក្បាលត្រជាក់ស្នូលខាងក្នុងរបស់វាត្រូវបានទូរទឹកកកចុះដល់ 10K~120K ដោយបិទ-វដ្ត cryocooler ឬអាសូតរាវ/អេលីយ៉ូមរាវ ម៉ូលេគុលឧស្ម័នទាំងអស់ដែលទាក់ទងផ្ទៃត្រជាក់ បង្រួមចូលទៅក្នុងស្រទាប់រឹង ដែលភ្ជាប់នៅលើបន្ទះត្រជាក់ ដើម្បីបន្ថយដង់ស៊ីតេឧស្ម័នបន្ទប់ជាបន្តបន្ទាប់។

　　មិនដូចម៉ាស៊ីនបូម turbo មានកម្រិតក្នុងប្រសិទ្ធភាពនៃការបូមសម្រាប់ឧស្ម័នអសកម្មអ៊ីដ្រូសែន និងអេលីយ៉ូមទេ ធុងគ្រីអូបសម្រេចបានប្រសិទ្ធភាពនៃការចាប់យកឧស្ម័នឧស្សាហកម្មទូទៅទាំងអស់ រួមទាំងឧស្ម័នដ៏ថ្លៃថ្នូ ដែលបំពាក់យ៉ាងទូលំទូលាយនៅក្នុងបន្ទប់ស្រោបសុញ្ញកាសធំដែលផលិតទូរស័ព្ទចល័ត AR ប្រឆាំង។-កញ្ចក់ឆ្លុះបញ្ចាំង និងកញ្ចក់អុបទិកអាកាសចរណ៍ ការពារភាពមិនបរិសុទ្ធនៃឧស្ម័នសំណល់ពីការបំផ្លាញស្តើង-ការបង្រួមខ្សែភាពយន្ត និងការបញ្ជូនពន្លឺ។ នៅក្នុងឧស្សាហកម្មអវកាស, គ្រីបភីម-បន្ទប់ពិសោធន៍កម្ដៅដែលបំពាក់ដោយម៉ាស៊ីនបូមធូលី ក្លែងធ្វើចន្លោះខាងក្រៅនៅជិត-បូមធូលីទាប-បរិយាកាសសីតុណ្ហភាពនៅលើដី ការធ្វើតេស្តស្ថេរភាពនៃផ្នែកផ្កាយរណប និងសមាសធាតុរ៉ុក្កែតក្រោមលក្ខខណ្ឌអវកាសខ្លាំង មុនពេលបាញ់បង្ហោះជាផ្លូវការ។

 
　　ដំណើរការ Cryopump ទាមទារជាមុន-បូមខាងមុខ-បញ្ចប់ស្នប់មេកានិចរដុបដើម្បីទម្លាក់សម្ពាធបន្ទប់ខាងក្រោម 10??Pa ដំបូង; បន្ទាប់ពីយូរ-ប្រតិបត្តិការរយៈពេល ស្រទាប់ឧស្ម័នរឹងក្រាស់នៅលើបន្ទះត្រជាក់កាត់បន្ថយសមត្ថភាពបូម ត្រូវការកំដៅបង្កើតឡើងវិញជាទៀងទាត់ ដើម្បីហួតឧស្ម័នដែលចាប់យក និងស្ដារឡើងវិញនូវដំណើរការស្រូបយកបន្ទះត្រជាក់។ ទោះបីជាការចំណាយលើលទ្ធកម្ម និងថែទាំ cryopump លើសពីម៉ាស៊ីនបូម turbo បែបប្រពៃណីក៏ដោយ ក៏វាមិនអាចប្រៀបផ្ទឹមបាន។-គុណភាពបូមធូលីស្អាតធ្វើឱ្យវាជាដំណោះស្រាយបូមដែលពេញចិត្តសម្រាប់កម្រិតខ្ពស់-បញ្ចប់រោងចក្រផលិតភាពជាក់លាក់នៅក្នុងប្រទេសអភិវឌ្ឍន៍។ ប៉ុន្មានឆ្នាំថ្មីៗនេះ សាក្សីកាត់បន្ថយការចំណាយក្នុងស្រុក-បានបង្កើត cryopumps ដែលជំរុញបរិមាណនាំចេញទៅកាន់សហគ្រាសកែច្នៃអុបទិក និងអវកាសអឺរ៉ុបជារៀងរាល់ឆ្នាំ។