Ultra-Clean Ultra-Högvakuumutrustning för optik & Flygfält
Dess inre kärna kylhuvud är kyltner till 10K~120K av stängt-cykla kryokylare eller flytande kväve/flytande helium, alla gasmolekyler som kommer i kontakt med kall yta kondenseras till ett fast skikt fäst på kall panel för att kontinuerligt sänka kammarens gasdensitet.
Till skillnad från turbopumpar med begränsad pumpeffektivitet för väte och helium inert gas, uppnår kryopumpar effektiv infångning av alla vanliga industrigaser inklusive ädelgas, brett utrustade inuti stora vakuumbeläggningskammare som producerar mobiltelefon AR anti-reflektionsglas och flygoptisk lins, vilket förhindrar kvarvarande spårgasföroreningar från att skada tunna-filmens kompakthet och ljusgenomsläpplighet. Inom flygindustrin, kryopump-utrustade vakuum termiska testkammare simulerar yttre rymdennära-låg vakuum-temperaturmiljö på marken, testning av stabilitet hos satellitdelar och raketkomponenter under extrema rymdförhållanden före formell uppskjutning.
Cryopumps arbete kräver pre-pumpar framtill-avsluta grov mekanisk pump för att sänka kammartrycket under 10??Pa först; efter lång tid-perioddrift, tjockt kondenserat fast gasskikt på kall panel minskar pumpkapaciteten, vilket kräver regelbunden regenereringsuppvärmning för att förånga infångad gas och återställa kallpanelens adsorptionsprestanda. Även om anskaffnings- och underhållskostnaderna för kryopumpar överstiger traditionella turbopumpar, är den oöverträffad ultra-ren vakuumkvalitet gör den till den föredragna pumplösningen för hög-avsluta precisionstillverkningsfabriker i utvecklade länder. Senaste åren vittne om kostnadsminskning av inhemska-tillverkade kryopumpar, vilket ökar exportvolymen till europeiska optik- och flygbearbetningsföretag varje år.