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ウルトラ-クリーンウルトラ-光学用高真空装置 & 航空宇宙分野

06 Jun, 2026
  極低温真空ポンプ (クライオポンプ) キャプチャです-タイプウルトラ-従来の機械式移送ポンプとは異なり、あらゆる気体分子を超真空ポンプで捕捉する高真空排気装置です。-ガスを圧縮して外部に排出するのではなく、低温のコールドパネルを凝縮させ、究極のウルトラに到達することができます。-油汚染ゼロの最大 10 Pa の高真空と非常にクリーンな作業環境、航空宇宙部品のテストにとってかけがえのない、-精密な光学コーティングと半導体チップの製造。

内部コアのコールドヘッドは 10K まで冷却されます~閉店までに120K-サイクル冷凍機または液体窒素/液体ヘリウムでは、低温表面に接触するすべてのガス分子が凝縮して低温パネルに付着した固体層になり、チャンバーのガス密度が継続的に低下します。


  水素やヘリウムの不活性ガスのポンピング効率が制限されているターボポンプとは異なり、クライオポンプは希ガスを含むすべての一般的な産業用ガスを効率的に捕捉し、携帯電話ARアンチを製造する大型真空コーティングチャンバー内に広く装備されています。-反射ガラスと航空光学レンズ、残留微量ガス不純物による薄板の損傷を防ぎます。-フィルムの緻密性と光透過率。航空宇宙産業ではクライオポンプ-装備された真空熱試験チャンバーは、近くの宇宙空間をシミュレートします。-真空度が低い-地上の温度環境、正式な打ち上げ前の極端な宇宙条件下での衛星部品とロケット部品の安定性のテスト。

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  クライオポンプの動作には事前の準備が必要です-前からポンピングする-まず粗い機械ポンプを終了してチャンバー圧力を 10??Pa 以下に下げます。久しぶりに-定期的な運転では、コールドパネル上の厚い凝縮固体ガス層によりポンプ能力が低下し、捕捉されたガスを蒸発させてコールドパネルの吸着性能を回復するために定期的な再生加熱が必要になります。クライオポンプの調達コストとメンテナンスコストは従来のターボポンプを上回りますが、その比類のない超-クリーンな真空品質により、高品質のポンプ ソリューションとして最適です。-先進国の精密製造工場を廃止する。近年、国内のコスト削減が進んでいます。-クライオポンプを製造し、ヨーロッパの光学および航空宇宙加工企業への輸出量を毎年増加させました。

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