Ультра-Clean Ultra-Високовакуумне обладнання для оптики & Аерокосмічна галузь
Його внутрішня холодна головка охолоджується до 10K~120K закрито-кріоохолоджувач циклу або рідкий азот/рідкого гелію, усі молекули газу, що контактують з холодною поверхнею, конденсуються в твердий шар, прикріплений до холодної панелі, щоб безперервно знижувати щільність газу в камері.
На відміну від турбонасосів з обмеженою ефективністю перекачування інертного газу водню та гелію, кріонасоси забезпечують ефективне захоплення всіх звичайних промислових газів, включаючи благородний газ, широко обладнані у великих вакуумних камерах для нанесення покриттів, що виробляють мобільні телефони AR anti-відбивне скло та авіаційна оптична лінза, що запобігає пошкодженню тонких домішок залишкового газу-компактність плівки і світлопроникність. В аерокосмічній промисловості кріонасос-обладнані вакуумно-термічні випробувальні камери імітують космічний простір поблизу-низький вакуум-температурного середовища на землі, випробування стабільності частин супутника та компонентів ракети в екстремальних космічних умовах перед офіційним запуском.
Робота кріонасоса вимагає попереднього-накачування фронтом-закінчити грубий механічний насос, щоб спочатку знизити тиск у камері нижче 10??Па; після довгого-Під час експлуатації товстий шар конденсованого твердого газу на холодній панелі зменшує пропускну здатність, що потребує регулярного регенераційного нагрівання для випаровування вловленого газу та відновлення ефективності адсорбції холодної панелі. Незважаючи на те, що витрати на закупівлю та обслуговування кріонасосів перевищують вартість традиційних турбонасосів, вони неперевершені-якість чистого вакууму робить його кращим насосним рішенням для високих-кінцеві заводи з точного виробництва в розвинених країнах. Останні роки свідчать про зниження вартості вітчизняних-створив кріонасоси, збільшуючи щорічний обсяг експорту до європейських оптичних та аерокосмічних підприємств.