Машина за ламиниране с вакуумно покритие

Това оборудване е предназначено за ламиниране и пара-отлагане на субстрати, свързване на горния и долния субстрат заедно при условия на вакуум. Вакуумната система се отличава с мощен капацитет на изпомпване, бързо възстановяване на вакуума и отлична производителност на вакуума. Машината е изключително лесна за работа и поддръжка и има атрактивен дизайн. Използва се предимно във високо-крайни захранващи устройства, акуст-оптични модулатори, MEMS сензори, инфрачервени детектори и други приложения.

Дезоксигенация и анти-Окисляване: Когато металите се нагряват и пресоват във въздуха, се образува плътен оксиден слой (като Al₂ O3) се образува моментално на повърхността. Този слой действа като изолатор, възпрепятстващ атомната дифузия и водещ до студени съединения или повишено електрическо съпротивление. Вакуумната среда напълно елиминира кислорода, запазвайки металната повърхност “активен” и позволяващи директна металургична връзка между металите. Подобрено омокряне: Вакуумната среда намалява адсорбцията на газ върху повърхността на материала, подобрявайки течливостта и омокряемостта на кристалната или металната повърхност, което води до по-плътна връзка с по-малко празнини. Специални изисквания за процеса: За силиций-към-директно свързване на силиций (например производство на MEMS) или някои съставни полупроводници, атомни-съвпадение на решетка на ниво може да се постигне само при ултра-условия на висок вакуум; това не може да се постигне в конвенционална среда.