Máy cán màng chân không

Thiết bịnày được thiết kế để cán màng và tạo hơi-lắng đọng các chấtnền, liên kết các chấtnền trên và dưới vớinhau trong điều kiện chân không. Hệ thống chân không có khảnăng bơm mạnh mẽ, thu hồi chân khôngnhanh và hiệu suất chân không tuyệt vời. Máy cực kỳ dễ vận hành và bảo trì, đồng thời có thiết kế hấp dẫn. Nó chủ yếu được sử dụng ở mức cao-thiết bị điện cuối, âm thanh-bộ điều biến quang, cảm biến MEMS, máy dò hồngngoại và các ứng dụng khác.

Khử oxy và chống-Quá trình oxy hóa: Khi kim loại đượcnungnóng và ép trong không khí, một lớp oxit dày đặc (chẳng hạnnhư Al₂ O₃) hình thànhngay lập tức trên bề mặt. Lớpnày hoạt độngnhư một chất cách điện, cản trở sự khuếch tánnguyên tử và dẫn đến các khớp bị lạnh hoặc tăng điện trở. Môi trường chân không loại bỏ hoàn toàn oxy, giữ cho bề mặt kim loại luôn sạch sẽ “hoạt động” và cho phép liên kết luyện kim trực tiếp giữa các kim loại. Cải thiện độ ẩm: Môi trường chân không làm giảm sự hấp phụ khí trên bề mặt vật liệu, tăng cường tính lưu động và độ ẩm của bề mặt tinh thể hoặc kim loại, dẫn đến liên kết dày đặc hơn với ít khoảng trống hơn. Yêu cầu quy trình đặc biệt: Đối với silicon-để-liên kết trực tiếp silicon (ví dụ: sản xuất MEMS) hoặc một số chất bán dẫn phức hợp,nguyên tử-mức độ phù hợp với mạng chỉ có thể đạt được dưới mức siêu-điều kiện chân không cao; điềunày không thể được thực hiện trong một môi trường thông thường.