Bu ekipman laminasyon ve buharlama için tasarlanmıştır.-alt tabakaların yerleştirilmesi, üst ve alt alt tabakaların vakum koşulları altında birbirine yapıştırılması. Vakum sistemi güçlü pompalama kapasitesine, hızlı vakum geri kazanımına ve mükemmel vakum performansına sahiptir. Makinenin kullanımı ve bakımı son derece kolaydır ve çekici bir tasarıma sahiptir. Öncelikle yüksekte kullanılır-son güç cihazları, acousto-optik modülatörler, MEMS sensörleri, kızılötesi dedektörler ve diğer uygulamalar.
Deoksijenasyon ve Anti-Oksidasyon: Metaller havada ısıtılıp preslendiğinde yoğun bir oksit tabakası oluşur. (Al₂ O₃ gibi) yüzeyde anında oluşur. Bu katman bir yalıtkan görevi görerek atomik difüzyonu engeller ve eklemlerin soğuk olmasına veya elektrik direncinin artmasınaneden olur. Vakum ortamı oksijeni tamamen ortadan kaldırarak metal yüzeyi korur “aktif” ve metaller arasında doğrudan metalurjik bir bağın sağlanması. Geliştirilmiş Islatma: Vakum ortamı, malzeme yüzeyindeki gaz adsorpsiyonunu azaltır, kristal veya metal yüzeyin akışkanlığını ve ıslanabilirliğini arttırır, böylece daha az boşlukla daha yoğun bir bağ elde edilir. Özel Proses Gereksinimleri: Silikon için-için-silikon doğrudan yapıştırma (örneğin MEMS üretimi) veya belirli bileşik yarı iletkenler, atomik-düzey kafes eşleşmesi yalnızca ultra koşullar altında elde edilebilir-yüksek vakum koşulları; bu geleneksel bir ortamda gerçekleştirilemez.
| Üstün Vakum |
5x10⁻⁴ Pa |
| Vakum Geri Kazanımı |
Atmosfer basıncından 8'e tahliye edin×10⁻⁴ Pa inç ≤25 dakika |
| Hazne İç Çapı |
∅550mm |
| Dirençli Buharlaşma Elektrotları |
Eş zamanlı veya ayrı buharlaştırma yapabilen, her biri 5 kW'lık iki ünite |
| Moleküler Pompa |
FF-250 Moleküler Pompa |
| Güç Kaynağı |
3-faz 220 V/380V, 50Hz |
| Güç |
Yaklaşık 25 kW |
| Hidrolik Sistem |
7–16MPa |
| Toplam Ağırlık |
Yaklaşık 1.200 kg |
| Ana Ünite Boyutları |
850x2200x2000 (G x D x Y) |
| Ürün Uygulamaları |
akustik-optik modülatörler, lazerler vb. |
| Su Temini |
Endüstriyel yumuşatılmış su, su basıncı: 0,2–0,6 MPa, su tüketimi: yaklaşık 20 L/dk. |
| Gaz Temini |
0,4–0,6 MPa |