এই সরঞ্জামগুলি স্তরিতকরণ এবং বাষ্পের জন্য ডিজাইন করা হয়েছে-সাবস্ট্রেট জমা করা, ভ্যাকুয়াম অবস্থার অধীনে উপরের এবং নীচের স্তরগুলিকে একত্রে বন্ধন করা। ভ্যাকুয়াম সিস্টেমে শক্তিশালী পাম্পিং ক্ষমতা, দ্রুত ভ্যাকুয়াম পুনরুদ্ধার এবং চমৎকার ভ্যাকুয়াম কর্মক্ষমতা রয়েছে। মেশিনটি পরিচালনা এবং রক্ষণাবেক্ষণ করা অত্যন্ত সহজ এবং একটি আকর্ষণীয় নকশা রয়েছে। এটি প্রাথমিকভাবে উচ্চ ব্যবহার করা হয়-শেষ শক্তি ডিভাইস, acousto-অপটিক মডুলেটর, MEMS সেন্সর, ইনফ্রারেড ডিটেক্টর এবং অন্যান্য অ্যাপ্লিকেশন।
ডিঅক্সিজেনেশন এবং অ্যান্টি-জারণ: যখন ধাতুগুলিকে উত্তপ্ত করা হয় এবং বাতাসে চাপ দেওয়া হয়, তখন একটি ঘন অক্সাইড স্তর (যেমন Al₂ O₃) তাৎক্ষণিকভাবে পৃষ্ঠে গঠন করে। এই স্তরটি একটি অন্তরক হিসাবে কাজ করে, পারমাণবিক প্রসারণকে বাধাগ্রস্ত করে এবং ঠান্ডা সন্ধি বা বৈদ্যুতিক প্রতিরোধের দিকে পরিচালিত করে। একটি ভ্যাকুয়াম পরিবেশ সম্পূর্ণরূপে অক্সিজেন নির্মূল করে, ধাতব পৃষ্ঠ বজায় রাখে “সক্রিয়” এবং ধাতুগুলির মধ্যে একটি সরাসরি ধাতুবিদ্যার বন্ধন সক্ষম করে। উন্নত ভেজানো: ভ্যাকুয়াম পরিবেশ উপাদান পৃষ্ঠের গ্যাস শোষণকে হ্রাস করে, স্ফটিক বা ধাতব পৃষ্ঠের তরলতা এবং আর্দ্রতা বাড়ায়, ফলে কম শূন্যতা সহ একটি ঘন বন্ধন তৈরি হয়। বিশেষ প্রক্রিয়ার প্রয়োজনীয়তা: সিলিকনের জন্য-থেকে-সিলিকন সরাসরি বন্ধন (যেমন, MEMS উৎপাদন) বা নির্দিষ্ট যৌগ অর্ধপরিবাহী, পারমাণবিক-স্তর জালি মিল শুধুমাত্র অতি অধীনে অর্জন করা যেতে পারে-উচ্চ ভ্যাকুয়াম অবস্থা; এটি একটি প্রচলিত পরিবেশে সম্পন্ন করা যাবে না.
| চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম |
5x10⁻⁴ Pa |
| ভ্যাকুয়াম রিকভারি |
বায়ুমণ্ডলীয় চাপ থেকে 8 এ উচ্ছেদ করুন×10⁻⁴ পা ইন ≤25 মিনিট |
| চেম্বারের ভিতরের ব্যাস |
∅550 মিমি |
| প্রতিরোধী বাষ্পীভবন ইলেকট্রোড |
দুটি ইউনিট, প্রতিটি 5 কিলোওয়াট, একযোগে বা পৃথক বাষ্পীভবন করতে সক্ষম |
| আণবিক পাম্প |
এফএফ-250 আণবিক পাম্প |
| পাওয়ার সাপ্লাই |
3-ফেজ 220 V/380 V, 50 Hz |
| শক্তি |
প্রায় 25 কিলোওয়াট |
| হাইড্রোলিক সিস্টেম |
7–16 এমপিএ |
| মোট ওজন |
প্রায় 1,200 কেজি |
| প্রধান একক মাত্রা |
850 x 2200 x 2000 (W x D x H) |
| পণ্য অ্যাপ্লিকেশন |
অ্যাকোস্টো-অপটিক মডুলেটর, লেজার, ইত্যাদি |
| জল সরবরাহ |
শিল্প নরম জল, জল চাপ: 0.2–0.6 MPa, জল খরচ: প্রায় 20 L/মিনিট |
| গ্যাস সরবরাহ |
0.4–0.6 এমপিএ |