Peralatan ini direka untuk melamina dan wap-memendapkan substrat, mengikat substrat atas dan bawah bersama dalam keadaan vakum. Sistem vakum mempunyai kapasiti pengepaman yang kuat, pemulihan vakum yang cepat, dan prestasi vakum yang sangat baik. Mesin ini sangat mudah untuk dikendalikan dan diselenggara, dan mempunyai reka bentuk yang menarik. Ia digunakan terutamanya dalam tinggi-peranti kuasa akhir, acousto-modulator optik, penderia MEMS, pengesan inframerah dan aplikasi lain.
Deoksigenasi dan Anti-Pengoksidaan: Apabila logam dipanaskan dan ditekan di udara, lapisan oksida tumpat (seperti Al₂ O₃) terbentuk serta-merta di permukaan. Lapisan ini bertindak sebagai penebat, menghalang penyebaran atom dan membawa kepada sambungan sejuk atau peningkatan rintangan elektrik. Persekitaran vakum menghilangkan oksigen sepenuhnya, mengekalkan permukaan logam “aktif” dan membolehkan ikatan metalurgi langsung antara logam. Pembasahan yang Diperbaiki: Persekitaran vakum mengurangkan penjerapan gas pada permukaan bahan, meningkatkan kecairan dan kebolehbasahan permukaan kristal atau logam, menghasilkan ikatan yang lebih padat dengan lompang yang lebih sedikit. Keperluan Proses Khas: Untuk silikon-kepada-ikatan langsung silikon (cth., pembuatan MEMS) atau semikonduktor sebatian tertentu, atom-padanan kekisi tahap hanya boleh dicapai di bawah ultra-keadaan vakum yang tinggi; ini tidak boleh dicapai dalam persekitaran konvensional.
| Vakum muktamad |
5x10⁻⁴ Pa |
| Pemulihan Vakum |
Keluar dari tekanan atmosfera ke 8×10⁻⁴ Pa masuk ≤25 minit |
| Diameter Dalaman Ruang |
∅550mm |
| Elektrod Penyejatan Rintangan |
Dua unit, 5 kW setiap satu, mampu penyejatan serentak atau berasingan |
| Pam Molekul |
FF-250 Pam Molekul |
| Bekalan Kuasa |
3-fasa 220 V/380 V, 50 Hz |
| kuasa |
Kira-kira 25 kW |
| Sistem Hidraulik |
7–16 MPa |
| Jumlah Berat |
Kira-kira 1,200 kg |
| Dimensi Unit Utama |
850 x 2200 x 2000 (W x D x H) |
| Aplikasi Produk |
Acousto-modulator optik, laser, dll. |
| Bekalan Air |
Air lembut industri, tekanan air: 0.2–0.6 MPa, penggunaan air: kira-kira 20 L/min |
| Bekalan Gas |
0.4–0.6 MPa |