Este equipo está diseñado para laminación y vaporización.-depositar sustratos, unir los sustratos superior e inferior entre sí en condiciones de vacío. El sistema de vacío presenta una potente capacidad de bombeo, una rápida recuperación del vacío y un excelente rendimiento del vacío. La máquina es extremadamente fácil de operar y mantener y tiene un diseño atractivo. Se utiliza principalmente en alta-dispositivos de potencia final, acústicos-moduladores ópticos, sensores MEMS, detectores de infrarrojos y otras aplicaciones.
Desoxigenación y Anti-Oxidación: cuando los metales se calientan y presionan en el aire, se forma una densa capa de óxido. (como Al₂ O₃) Se forma instantáneamente en la superficie. Esta capa actúa como aislante, dificultando la difusión atómica y provocando juntas frías o una mayor resistencia eléctrica. Un ambiente de vacío elimina completamente el oxígeno, manteniendo la superficie del metal. “activo” y permitir una unión metalúrgica directa entre metales. Humectación mejorada: el ambiente de vacío reduce la adsorción de gas en la superficie del material, mejorando la fluidez y la humectabilidad de la superficie del cristal o metal, lo que resulta en una unión más densa con menos huecos. Requisitos especiales del proceso: para silicio-a-enlace directo de silicio (por ejemplo, fabricación de MEMS) o ciertos semiconductores compuestos, atómicos-La coincidencia deniveles de celosía solo se puede lograr en condiciones ultra-condiciones de alto vacío; Estono se puede lograr en un entorno convencional.
Especificaciones técnicas
| Vacío definitivo |
5x10⁻⁴ Pa |
| Recuperación de vacío |
Evacuar desde presión atmosférica a 8×10⁻⁴ Pa pulg ≤25 minutos |
| Diámetro interior de la cámara |
∅550 mm |
| Electrodos de evaporación resistivos |
Dos unidades de 5 kW cada una, capaces de realizar evaporación simultánea o separada |
| Bomba molecular |
FF-Bomba molecular 250 |
| Fuente de alimentación |
3-fase 220 V/380 V, 50 Hz |
| poder |
Aproximadamente 25 kilovatios |
| Sistema hidráulico |
7–16MPa |
| Peso Total |
Aproximadamente 1.200 kilos |
| Dimensiones de la unidad principal |
850x2200x2000 (Ancho x Fondo x Alto) |
| Aplicaciones de productos |
acústico-moduladores ópticos, láseres, etc. |
| Suministro de agua |
Agua descalcificada industrial, presión del agua: 0,2–0,6 MPa, consumo de agua: aproximadamente 20 L/mín. |
| Suministro de gas |
0,4–0,6 MPa |