Ezt a berendezést laminálásra és gőzölésre tervezték-szubsztrátumok felhordása, a felső és az alsó szubsztrátum összeragasztása vákuum körülmények között. A vákuumrendszer erőteljes szivattyúzási kapacitással, gyors vákuumvisszanyeréssel és kiváló vákuumteljesítménnyel rendelkezik. A gép rendkívül könnyen kezelhető és karbantartható, vonzó kialakítású. Elsősorban magasban használják-vég teljesítmény eszközök, akuszt-optikai modulátorok, MEMS érzékelők, infravörös érzékelők és egyéb alkalmazások.
Deoxigénezés és Anti-Oxidáció: Amikor a fémeket levegőn hevítik és préselik, sűrű oxidréteg keletkezik (mint például az Al2O3) azonnal kialakul a felületen. Ez a réteg szigetelőként működik, gátolja az atomok diffúzióját, és hideg kötésekhez vagy megnövekedett elektromos ellenálláshoz vezet. A vákuum környezet teljesen megszünteti az oxigént, megtartva a fémfelületet “aktív” és lehetővé teszi a fémek közötti közvetlen kohászati kötést. Javítottnedvesítés: A vákuumkörnyezet csökkenti a gáz adszorpcióját az anyag felületén, fokozza a kristály vagy fémfelület folyékonyságát ésnedvesíthetőségét, ami sűrűbb kötést eredményez, kevesebb üreggel. Különleges eljárási követelmények: Szilíciumhoz-hogy-közvetlen szilícium kötés (például MEMS gyártás) vagy bizonyos összetett félvezetők, atomi-szintű rácsillesztést csak ultra alatt lehet elérni-nagy vákuum körülmények; eznem valósítható meg hagyományos környezetben.
| Végső vákuum |
5x10⁻⁴ Pa |
| Vákuumos helyreállítás |
Kiürítés légkörinyomásról 8-ra×10⁻⁴ Pa in ≤25 perc |
| Kamra belső átmérője |
∅550 mm |
| Ellenállásos párolgási elektródák |
Két egység, egyenként 5 kW, egyidejű vagy külön párologtatásra |
| Molekuláris szivattyú |
FF-250 molekuláris szivattyú |
| Tápegység |
3-fázis 220 V/380 V, 50 Hz |
| Erő |
Körülbelül 25 kW |
| Hidraulikus rendszer |
7–16 MPa |
| Teljes súly |
Körülbelül 1200 kg |
| A fő egység méretei |
850 x 2200 x 2000 (Sz x Mé x Ma) |
| Termék alkalmazások |
Acousto-optikai modulátorok, lézerek stb. |
| Vízellátás |
Ipari lágyított víz, víznyomás: 0,2–0,6 MPa, vízfogyasztás: kb. 20 L/min |
| Gázellátás |
0.4–0,6 MPa |