อุปกรณ์นี้ได้รับการออกแบบสำหรับการเคลือบและไอ-การสะสมของพื้นผิว การเชื่อมพื้นผิวด้านบนและด้านล่างเข้าด้วยกันภายใต้สภาวะสุญญากาศ ระบบสุญญากาศมีความสามารถในการสูบน้ำที่ทรงพลัง การคืนสุญญากาศอย่างรวดเร็ว และประสิทธิภาพสุญญากาศที่ยอดเยี่ยม เครื่องจักรนี้ใช้งานและบำรุงรักษาง่ายมาก และมีการออกแบบที่สวยงาม ส่วนใหญ่จะใช้ในที่สูง-อุปกรณ์จ่ายไฟปลายทาง, อะคูสติก-ออปติกโมดูเลเตอร์ เซ็นเซอร์ MEMS เครื่องตรวจจับอินฟราเรด และการใช้งานอื่นๆ
ดีออกซิเจนและต่อต้าน-ออกซิเดชัน: เมื่อโลหะถูกให้ความร้อนและกดในอากาศ จะเกิดชั้นออกไซด์ที่หนาแน่น (เช่น อัล₂ O₃) ก่อตัวขึ้นบนพื้นผิวทันที ชั้นนี้ทำหน้าที่เป็นฉนวน ขัดขวางการแพร่กระจายของอะตอม และนำไปสู่ข้อต่อเย็นหรือเพิ่มความต้านทานไฟฟ้า สภาพแวดล้อมสุญญากาศจะกำจัดออกซิเจนโดยสิ้นเชิง โดยรักษาพื้นผิวโลหะไว้ “ใช้งานอยู่” และทำให้เกิดพันธะทางโลหะวิทยาโดยตรงระหว่างโลหะ การทำให้เปียกได้ดีขึ้น: สภาพแวดล้อมสุญญากาศลดการดูดซับก๊าซบนพื้นผิวของวัสดุ เพิ่มความลื่นไหลและความสามารถในการเปียกของพื้นผิวคริสตัลหรือโลหะ ส่งผลให้เกิดพันธะที่หนาแน่นขึ้นและมีช่องว่างน้อยลง ข้อกำหนดกระบวนการพิเศษ: สำหรับซิลิคอน-ถึง-พันธะซิลิกอนโดยตรง (เช่น การผลิต MEMS) หรือสารกึ่งตัวนำผสมบางชนิดอะตอม-การจับคู่ตาข่ายระดับสามารถทำได้ภายใต้อัลตร้าเท่านั้น-สภาวะสุญญากาศสูง สิ่งนี้ไม่สามารถทำได้ในสภาพแวดล้อมแบบเดิมๆ
| สุดยอดสุญญากาศ |
5x10⁻⁴ ป่า |
| การกู้คืนสูญญากาศ |
อพยพจากความกดอากาศถึง 8×10⁻⁴ ปานิ้ว ≤25 นาที |
| เส้นผ่านศูนย์กลางภายในห้อง |
∅550มม |
| อิเล็กโทรดการระเหยแบบต้านทาน |
สองยูนิต แต่ละยูนิตมีกำลังไฟ 5 kW สามารถระเหยพร้อมกันหรือแยกกันได้ |
| ปั๊มโมเลกุล |
เอฟเอฟ-250 ปั๊มโมเลกุล |
| พาวเวอร์ซัพพลาย |
3-เฟส 220 โวลต์/380 โวลต์ 50 เฮิรตซ์ |
| พลัง |
ประมาณ 25 กิโลวัตต์ |
| ระบบไฮดรอลิก |
7–16 เมกะปาสคาล |
| น้ำหนักรวม |
ประมาณ 1,200 กก |
| ขนาดยูนิตหลัก |
850 x 2200 x 2000 (ก x ล x ส) |
| การใช้งานผลิตภัณฑ์ |
อะคูสติก-ออปติกโมดูเลเตอร์ เลเซอร์ ฯลฯ |
| น้ำประปา |
น้ำอ่อนอุตสาหกรรม แรงดันน้ำ: 0.2–0.6 MPa ปริมาณการใช้น้ำ: ประมาณ 20 ลิตร/นาที |
| การจัดหาก๊าซ |
0.4–0.6 เมกะปาสคาล |