Αυτός ο εξοπλισμός έχει σχεδιαστεί για πλαστικοποίηση και ατμό-εναπόθεση υποστρωμάτων, συγκόλληση του επάνω και του κάτω υποστρώματος μεταξύ τους υπό συνθήκες κενού. Το σύστημα κενού διαθέτει ισχυρή ικανότητα άντλησης, γρήγορη ανάκτηση κενού και εξαιρετική απόδοση κενού. Το μηχάνημα είναι εξαιρετικά εύκολο στη λειτουργία και τη συντήρηση και έχει ελκυστικό σχεδιασμό. Χρησιμοποιείται κυρίως σε υψηλή-συσκευές τελικής ισχύος, acousto-οπτικοί διαμορφωτές, αισθητήρες MEMS, ανιχνευτές υπερύθρων και άλλες εφαρμογές.
Αποοξυγόνωση και Αντι-Οξείδωση: Όταν τα μέταλλα θερμαίνονται και πιέζονται στον αέρα, ένα πυκνό στρώμα οξειδίου (όπως Al2O3) σχηματίζεται αμέσως στην επιφάνεια. Αυτό το στρώμα λειτουργεί ως μονωτικό, εμποδίζοντας την ατομική διάχυση και οδηγώντας σε ψυχρές ενώσεις ή αυξημένη ηλεκτρική αντίσταση. Ένα περιβάλλον κενού εξαλείφει εντελώς το οξυγόνο, διατηρώντας τη μεταλλική επιφάνεια “ενεργός” και επιτρέποντας έναν άμεσο μεταλλουργικό δεσμό μεταξύ των μετάλλων. Βελτιωμένη διαβροχή: Το περιβάλλον κενού μειώνει την προσρόφηση αερίου στην επιφάνεια του υλικού, ενισχύοντας τη ρευστότητα και τη διαβρεξιμότητα της κρυσταλλικής ή μεταλλικής επιφάνειας, με αποτέλεσμα έναν πιο πυκνό δεσμό με λιγότερα κενά. Ειδικές απαιτήσεις διεργασίας: Για πυρίτιο-να-άμεση σύνδεση πυριτίου (π.χ., κατασκευή MEMS) ή ορισμένοι σύνθετοι ημιαγωγοί, ατομικοί-Η αντιστοίχιση πλέγματος επιπέδου μπορεί να επιτευχθεί μόνο υπό ultra-συνθήκες υψηλού κενού. αυτό δεν μπορεί να επιτευχθεί σε ένα συμβατικό περιβάλλον.
| Ultimate Vacuum |
5x10⁻4 Pa |
| Ανάκτηση κενού |
Εκκενώστε από την ατμοσφαιρική πίεση στο 8×10⁻4 Pa in ≤25 λεπτά |
| Εσωτερική διάμετρος θαλάμου |
∅550 χλστ |
| Ηλεκτρόδια εξάτμισης με αντίσταση |
Δύο μονάδες, 5 kW η καθεμία, με δυνατότητα ταυτόχρονης ή ξεχωριστής εξάτμισης |
| Μοριακή Αντλία |
FF-250 Μοριακή Αντλία |
| Τροφοδοτικό |
3-φάση 220 V/380 V, 50 Hz |
| Δύναμη |
Περίπου 25 kW |
| Υδραυλικό Σύστημα |
7–16 MPa |
| Συνολικό Βάρος |
Περίπου 1.200 κιλά |
| Διαστάσεις κύριας μονάδας |
850 x 2200 x 2000 (Π x Β x Υ) |
| Εφαρμογές προϊόντων |
Acousto-οπτικοί διαμορφωτές, λέιζερ κ.λπ. |
| Παροχή νερού |
Βιομηχανικό μαλακωμένο νερό, πίεση νερού: 0,2–0,6 MPa, κατανάλωση νερού: περίπου 20 L/ελάχ |
| Παροχή Αερίου |
0.4–0,6 MPa |