تم تصميم هذه المعدات للتغليف والبخار-ترسيب الركائز، وربط الركائز العلوية والسفلية معًا في ظل ظروف الفراغ. يتميز نظام التفريغ بقدرة ضخ قوية، واسترداد سريع للفراغ، وأداء تفريغ ممتاز. الآلة سهلة التشغيل والصيانة للغاية، ولها تصميم جذاب. يتم استخدامه في المقام الأول في ارتفاع-أجهزة الطاقة النهائية، الصوتية-المغيرات البصرية، وأجهزة استشعار MEMS، وكاشفات الأشعة تحت الحمراء، وغيرها من التطبيقات.
إزالة الأكسجين ومكافحة-الأكسدة: عند تسخين المعادن وضغطها في الهواء، تتكون طبقة أكسيد كثيفة (مثل Al₂ O₃) تتشكل على الفور على السطح. تعمل هذه الطبقة كعازل، مما يعيق الانتشار الذري ويؤدي إلى برودة المفاصل أو زيادة المقاومة الكهربائية. تعمل البيئة المفرغة على التخلص تمامًا من الأكسجين، مما يحافظ على السطح المعدني “نشط” وتمكين الرابطة المعدنية المباشرة بين المعادن. تحسين الترطيب: تقلل بيئة الفراغ من امتصاص الغاز على سطح المادة، مما يعزز سيولة وقابلية البلل للسطح البلوري أو المعدني، مما يؤدي إلى رابطة أكثر كثافة مع عدد أقل من الفراغات. متطلبات العملية الخاصة: للسيليكون-ل-الربط المباشر بالسيليكون (على سبيل المثال، تصنيع الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة (MEMS).) أو بعض أشباه الموصلات المركبة، الذرية-لا يمكن تحقيق مطابقة الشبكة المستوية إلا في إطار Ultra-ظروف فراغ عالية. لا يمكن تحقيق ذلك في بيئة تقليدية.
| فراغ في نهاية المطاف |
5x10⁻⁴ باسكال |
| استعادة الفراغ |
إخلاء من الضغط الجوي إلى 8×10⁻⁴ باسكال إن ≤25 دقيقة |
| القطر الداخلي للغرفة |
∅550 ملم |
| أقطاب التبخر المقاومة |
وحدتان، قدرة كل منهما 5 كيلو واط، قادرتان على التبخير المتزامن أو المنفصل |
| المضخة الجزيئية |
FF-250 مضخة جزيئية |
| مصدر الطاقة |
3-المرحلة 220 فولت/380 فولت، 50 هرتز |
| القوة |
حوالي 25 كيلو واط |
| النظام الهيدروليكي |
7–16 ميجا باسكال |
| الوزن الإجمالي |
حوالي 1200 كجم |
| أبعاد الوحدة الرئيسية |
850 × 2200 × 2000 (العرض × العمق × الارتفاع) |
| تطبيقات المنتج |
صوتي-المغيرون البصريون، والليزر، وما إلى ذلك. |
| إمدادات المياه |
الماء الصناعي المخفف، ضغط الماء: 0.2–0.6 ميجا باسكال، استهلاك المياه: حوالي 20 لتر/دقيقة |
| توريد الغاز |
0.4–0.6 ميجا باسكال |
