Машина для ламінування вакуумного покриття

Це обладнання призначене для ламінування та парової обробки-нанесення підкладок, з’єднання верхньої та нижньої підкладок разом в умовах вакууму. Вакуумна система має потужну насосну здатність, швидке відновлення вакууму та відмінну продуктивність вакууму. Машина надзвичайно проста в експлуатації та обслуговуванні та має привабливий дизайн. В основному використовується у високих-кінцеві пристрої живлення, акуст-оптичні модулятори, датчики MEMS, інфрачервоні детектори та інші програми.

Дезоксигенація та анти-Окислення: коли метали нагріваються та пресуються на повітрі, утворюється щільний шар оксиду (наприклад Al₂ O3) миттєво утворюється на поверхні. Цей шар діє як ізолятор, перешкоджаючи дифузії атомів і призводячи до холодних швів або збільшення електричного опору. Вакуумне середовище повністю виключає кисень, зберігаючи поверхню металу “активний” і створення прямого металургійного зв'язку між металами. Покращене змочування: вакуумне середовище зменшує адсорбцію газу на поверхні матеріалу, підвищуючи текучість і змочуваність поверхні кристала або металу, що призводить до більш щільного зв’язку з меншою кількістю пустот. Спеціальні вимоги до процесу: для кремнію-до-пряме склеювання кремнію (наприклад, виробництво MEMS) або певні складні напівпровідники, атом-узгодження рівня решітки може бути досягнуто тільки під ультра-умови високого вакууму; цього неможливо досягти в звичайному середовищі.