Urządzenie to przeznaczone jest do laminowania i parowania-osadzanie podłoży, łączenie górnego i dolnego podłoża w warunkach próżniowych. System próżniowy charakteryzuje się dużą wydajnością pompowania, szybkim odzyskiwaniem próżni i doskonałą wydajnością próżni. Maszyna jestniezwykle łatwa w obsłudze i konserwacji oraz ma atrakcyjny wygląd. Stosowany jest głównie w wysokich-urządzenia końcowe mocy, akustyka-modulatory optyczne, czujniki MEMS, detektory podczerwieni i inne zastosowania.
Odtlenianie i anty-Utlenianie: Gdy metale są podgrzewane i prasowanena powietrzu, tworzy się gęsta warstwa tlenku (takie jak Al₂O₃) tworzy sięnatychmiastna powierzchni. Warstwa ta działa jak izolator, utrudniając dyfuzję atomów i prowadząc do zimnych połączeń lub zwiększonego oporu elektrycznego. Środowisko próżniowe całkowicie eliminuje tlen, utrzymując metalową powierzchnię “aktywny” i umożliwienie bezpośredniego wiązania metalurgicznego pomiędzy metalami. Lepsze zwilżanie: Środowisko próżniowe zmniejsza adsorpcję gazuna powierzchni materiału, zwiększając płynność i zwilżalność powierzchni kryształu lub metalu, co skutkuje gęstszym wiązaniem z mniejszą liczbą pustych przestrzeni. Specjalne wymagania procesowe: Do krzemu-do-bezpośrednie wiązanie krzemu (np. produkcja MEMS) lubniektóre półprzewodniki złożone, atomowe-dopasowanie poziomu siatki można osiągnąć tylko w trybie ultra-warunki wysokiej próżni;nie można tego osiągnąć w konwencjonalnym środowisku.
| Ostateczna próżnia |
5x10⁻⁴ Pa |
| Odzysk próżniowy |
Ewakuować od ciśnienia atmosferycznego do 8×10⁻⁴ Pa in ≤25 minut |
| Wewnętrzna średnica komory |
∅550 mm |
| Rezystancyjne elektrody parujące |
Dwie jednostki o mocy 5 kW każda, z możliwością jednoczesnego lub oddzielnego odparowania |
| Pompa molekularna |
FF-250 Pompa molekularna |
| Zasilanie |
3-faza 220 V/380 V, 50 Hz |
| Moc |
Około 25 kW |
| Układ hydrauliczny |
7–16 MPa |
| Całkowita waga |
Około 1200kg |
| Wymiary jednostki głównej |
850 x 2200 x 2000 (szer. x gł. x wys) |
| Aplikacje produktów |
Akusto-modulatory optyczne, lasery itp. |
| Zaopatrzenie w wodę |
Woda zmiękczona przemysłowo, ciśnienie wody: 0,2–0,6 MPa, zużycie wody: około 20 L/min |
| Dostawy gazu |
0,4–0,6 MPa |