Acest echipament este proiectat pentru laminare și vapori-depunerea substraturilor, lipirea substraturilor de sus și de jos împreună în condiții de vid. Sistemul de vid are o capacitate puternică de pompare, recuperare rapidă a vidului și performanță excelentă a vidului. Mașina este extrem de ușor de operat și întreținut și are un design atractiv. Este folosit în principal în înaltă-dispozitive de putere finală, acustică-modulatori optici, senzori MEMS, detectoare cu infraroșu și alte aplicații.
Avantajele echipamentelor
Deoxigenare și Anti-Oxidare: Când metalele sunt încălzite și presate în aer, un strat dens de oxid (cum ar fi Al₂ O₃) se formează instantaneu la suprafață. Acest strat acționează ca un izolator, împiedicând difuzia atomică și conducând la îmbinări reci sau la creșterea rezistenței electrice. Un mediu de vid elimină complet oxigenul, păstrând suprafața metalică “activ” și permițând o legătură metalurgică directă între metale. Udare îmbunătățită: Mediul de vid reduce adsorbția de gaz pe suprafața materialului, sporind fluiditatea și umectarea suprafeței de cristal sau metal, rezultând o legătură mai densă cu mai puține goluri. Cerințe speciale de proces: pentru siliciu-la-lipire directă de siliciu (de exemplu, fabricarea MEMS) sau anumiți semiconductori compuși, atomici-potrivirea rețelei denivel poate fi realizatănumai în ultra-condiții de vid înalt; acest lucrunu poate fi realizat într-un mediu convențional.
| Vacuum suprem |
5x10⁻⁴ Pa |
| Recuperare cu vid |
Evacuați de la presiunea atmosferică la 8×10⁻⁴ Pa in ≤25 de minute |
| Diametrul interior al camerei |
∅550 mm |
| Electrozi de evaporare rezistivi |
Două unități de 5 kW fiecare, capabile de evaporare simultană sau separată |
| Pompă moleculară |
FF-250 Pompă moleculară |
| Sursa de alimentare |
3-faza 220 V/380 V, 50 Hz |
| Putere |
Aproximativ 25 kW |
| Sistem hidraulic |
7–16 MPa |
| Greutate totală |
Aproximativ 1.200 kg |
| Dimensiunile unității principale |
850 x 2200 x 2000 (L x A x A) |
| Aplicații ale produsului |
Acousto-modulatoare optice, lasere etc. |
| Alimentare cu apă |
Apă dedurizată industrială, presiunea apei: 0,2–0,6 MPa, consum de apă: aproximativ 20 L/min |
| Alimentare cu gaz |
0,4–0,6 MPa |