Данное оборудование предназначено для ламинирования и паровой печати.-нанесение подложек, соединение верхней и нижней подложек вместе в условиях вакуума. Вакуумная система отличается высокой производительностью откачки, быстрым восстановлением вакуума и отличными характеристиками вакуума. Машина чрезвычайно проста в эксплуатации и обслуживании, имеет привлекательный дизайн. В основном используется в высоких-конечные силовые устройства, акусто-оптические модуляторы, МЭМС-датчики, инфракрасные детекторы и другие приложения.
Преимущества оборудования
Деоксигенация и анти-Окисление: при нагревании и прессовании металлов на воздухе образуется плотный оксидный слой. (такие как Al₂ O₃) мгновенно образуется на поверхности. Этот слой действует как изолятор, препятствуя диффузии атомов и приводя к холодным соединениям или увеличению электрического сопротивления. Вакуумная среда полностью удаляет кислород, сохраняя поверхность металла “активный” и обеспечение прямой металлургической связи между металлами. Улучшенное смачивание: вакуумная среда уменьшает адсорбцию газа на поверхности материала, повышая текучесть и смачиваемость поверхности кристалла или металла, что приводит к более плотному соединению с меньшим количеством пустот. Особые требования к процессу: для кремния-чтобы-кремниевое прямое соединение (например, производство MEMS) или некоторые сложные полупроводники, атомные-согласование уровней решетки может быть достигнуто только при ультра-условия высокого вакуума; этого невозможно достичь в обычных условиях.
Технические характеристики
| Абсолютный вакуум |
5x10⁻⁴ Па |
| Восстановление вакуума |
Эвакуировать от атмосферного давления до 8×10⁻⁴ Па дюйм ≤25 минут |
| Внутренний диаметр камеры |
∅550 мм |
| Резистивные испарительные электроды |
Два агрегата по 5 кВт каждый с возможностью одновременного или раздельного испарения. |
| Молекулярный насос |
ФФ-250 Молекулярный насос |
| Источник питания |
3-фаза 220 В/380 В, 50 Гц |
| Мощность |
Примерно 25 кВт |
| Гидравлическая система |
7–16 МПа |
| Общий вес |
Примерно 1200 кг |
| Размеры основного блока |
850 х 2200 х 2000 (Ш х Д х В) |
| Применение продукта |
Акусто-оптические модуляторы, лазеры и т.д. |
| Водоснабжение |
Промышленная умягченная вода, давление воды: 0,2.–0,6 МПа, расход воды: около 20 л./мин |
| Газоснабжение |
0,4–0,6 МПа |
