Vacuümcoating lamineermachine

Deze apparatuur is ontworpen voor lamineren en dampen-het afzetten van substraten, het aan elkaar hechten van de bovenste en onderste substraten onder vacuümomstandigheden. Het vacuümsysteem beschikt over krachtige pompcapaciteit, snel vacuümherstel en uitstekende vacuümprestaties. De machine is uiterst eenvoudig te bedienen en te onderhouden en heeft een aantrekkelijk design. Het wordt voornamelijk gebruikt in de hoge-eindstroomapparaten, akoestisch-optische modulatoren, MEMS-sensoren, infrarooddetectoren en andere toepassingen.

Deoxygenatie en Anti-Oxidatie: Wanneer metalen worden verwarmd en in de lucht worden geperst, ontstaat er een dichte oxidelaag (zoals Al₂ O₃) vormt zich onmiddellijk op het oppervlak. Deze laag fungeert als isolator, belemmert atomaire diffusie en leidt tot koude verbindingen of verhoogde elektrische weerstand. Een vacuümomgeving elimineert zuurstof volledig, waardoor het metalen oppervlak behouden blijft “actief” en het mogelijk maken van een directe metallurgische binding tussen metalen. Verbeterde bevochtiging: De vacuümomgeving vermindert de gasadsorptie op het materiaaloppervlak, waardoor de vloeibaarheid en bevochtigbaarheid van het kristal- of metaaloppervlak wordt verbeterd, wat resulteert in een dichtere binding met minder holtes. Speciale procesvereisten: Voor silicium-aan-silicium directe binding (bijvoorbeeld MEMS-productie) of bepaalde samengestelde halfgeleiders, atomair-niveauroostermatching kan alleen worden bereikt onder ultra-hoge vacuümomstandigheden; dit kanniet worden bereikt in een conventionele omgeving.