이 장비는 라미네이팅 및 증기용으로 설계되었습니다.-기판을 증착하고, 진공 조건에서 상단 및 하단 기판을 함께 접착합니다. 진공 시스템은 강력한 펌핑 용량, 신속한 진공 복구 및 뛰어난 진공 성능을 특징으로 합니다. 이 기계는 작동 및 유지 관리가 매우 쉽고 매력적인 디자인을 갖추고 있습니다. 주로 높은 곳에서 사용됩니다.-최종 전력 장치, acousto-광 변조기, MEMS 센서, 적외선 감지기 및 기타 애플리케이션.
탈산소화 및 안티-산화: 금속을 공기 중에서 가열하고 압축하면 치밀한 산화물 층이 형성됩니다. (Al₂O₃ 등) 표면에 즉시 형성됩니다. 이 층은 절연체 역할을 하여 원자 확산을 방해하고 냉간 접합 또는 전기 저항 증가를 초래합니다. 진공 환경으로 산소를 완전히 제거하여 금속 표면을 유지합니다. “활성” 금속 사이의 직접적인 야금학적 결합을 가능하게 합니다. 향상된 습윤성: 진공 환경은 재료 표면의 가스 흡착을 줄여 결정 또는 금속 표면의 유동성과 습윤성을 향상시켜 공극이 적고 밀도가 높은 결합을 생성합니다. 특수 공정 요구 사항: 실리콘의 경우-에-실리콘 직접 결합 (예: MEMS 제조) 또는 특정 화합물 반도체, 원자-레벨 격자 매칭은 울트라에서만 달성될 수 있습니다.-고진공 조건; 이는 기존 환경에서는 수행할 수 없습니다.
| 궁극의 진공 |
5x10⁻⁴ Pa |
| 진공 회복 |
대기압에서 8도로 대피하세요×10⁻⁴ 파인 ≤25분 |
| 챔버 내경 |
∅550mm |
| 저항성 증발 전극 |
2개 장치, 각각 5kW, 동시 또는 개별 증발 가능 |
| 분자펌프 |
FF-250 분자펌프 |
| 전원공급장치 |
3-위상 220V/380V, 50Hz |
| 힘 |
약 25kW |
| 유압 시스템 |
7–16MPa |
| 총 중량 |
약 1,200kg |
| 본체 치수 |
850x2200x2000 (폭 x 깊이 x 높이) |
| 제품 응용 |
어쿠스토-광 변조기, 레이저 등 |
| 물 공급 |
공업용 연수, 수압: 0.2–0.6MPa, 물 소비량: 약 20L/분 |
| 가스 공급 |
0.4–0.6MPa |
