Mesin Laminasi Lapisan Vakum

Peralatan ini dirancang untuk laminasi dan uap-menyimpan substrat, mengikat substrat atas dan bawah bersama-sama dalam kondisi vakum. Sistem vakum memiliki kapasitas pemompaan yang kuat, pemulihan vakum yang cepat, dan kinerja vakum yang sangat baik. Mesin ini sangat mudah dioperasikan dan dirawat, serta memiliki desain yang menarik. Ini terutama digunakan di tempat tinggi-perangkat daya akhir, akustik-modulator optik, sensor MEMS, detektor inframerah, dan aplikasi lainnya.

Deoksigenasi dan Anti-Oksidasi: Ketika logam dipanaskan dan ditekan di udara, lapisan oksida padat (seperti Al₂ O₃) terbentuk seketika di permukaan. Lapisan ini bertindak sebagai isolator, menghalangi difusi atom dan menyebabkan sambungan dingin atau peningkatan hambatan listrik. Lingkungan vakum sepenuhnya menghilangkan oksigen, menjaga permukaan logam “aktif” dan memungkinkan ikatan metalurgi langsung antar logam. Peningkatan Pembasahan: Lingkungan vakum mengurangi adsorpsi gas pada permukaan material, meningkatkan fluiditas dan keterbasahan permukaan kristal atau logam, menghasilkan ikatan yang lebih padat dengan rongga yang lebih sedikit. Persyaratan Proses Khusus: Untuk silikon-untuk-ikatan silikon langsung (misalnya, manufaktur MEMS) atau semikonduktor senyawa tertentu, atom-pencocokan kisi tingkat hanya dapat dicapai di bawah ultra-kondisi vakum tinggi; hal ini tidak dapat dicapai dalam lingkungan konvensional.