Toto zařízení je určeno pro laminování a párování-ukládání substrátů, spojování horního a spodního substrátu dohromady za podmínek vakua. Vakuový systém se vyznačuje vysokou čerpací kapacitou, rychlou obnovou vakua a vynikajícím vakuovým výkonem. Stroj se velmi snadno ovládá a udržuje a má atraktivní design. Používá se především ve vysokých-koncová výkonová zařízení, akusto-optické modulátory, MEMS senzory, infračervené detektory a další aplikace.
Deoxygenace a Anti-Oxidace: Když se kovy zahřejí a stlačína vzduchu, vytvoří se hustá vrstva oxidu (jako je Al203) okamžitě se tvořína povrchu. Tato vrstva působí jako izolant, brání atomové difúzi a vede ke studeným spojůmnebo zvýšenému elektrickému odporu. Vakuové prostředí zcela eliminuje kyslík a zachovává kovový povrch “aktivní” a umožňující přímou metalurgickou vazbu mezi kovy. Zlepšené smáčení: Vakuové prostředí snižuje adsorpci plynuna povrchu materiálu, čímž se zvyšuje tekutost a smáčivost povrchu krystalunebo kovu, což má zanásledek hustší vazbu s menším počtem dutin. Speciální požadavkyna proces: Pro křemík-do-přímé křemíkové lepení (např. výroba MEMS)nebo určité složené polovodiče, atomové-úrovně mřížkového přizpůsobení lze dosáhnout pouze pod ultra-podmínky vysokého vakua; tohonelze dosáhnout v konvenčním prostředí.
| Maximální vakuum |
5x10⁻⁴ Pa |
| Vakuové zotavení |
Evakuujte z atmosférického tlakuna 8×10⁻⁴ Pa in ≤25 minut |
| Vnitřní průměr komory |
∅550 mm |
| Odporové odpařovací elektrody |
Dvě jednotky, každá o výkonu 5 kW, schopné současnéhonebo samostatného odpařování |
| Molekulární pumpa |
FF-250 Molekulární čerpadlo |
| Napájení |
3-fáze 220V/380 V, 50 Hz |
| Moc |
Přibližně 25 kW |
| Hydraulický systém |
7–16 MPa |
| Celková hmotnost |
Přibližně 1 200 kg |
| Rozměry hlavní jednotky |
850 x 2200 x 2000 (Š x H x V) |
| Aplikace produktů |
Acousto-optické modulátory, lasery atd. |
| Zásobování vodou |
Průmyslová změkčená voda, tlak vody: 0,2–0,6 MPa, spotřeba vody: cca 20L/min |
| Zásobování plynem |
0,4–0,6 MPa |
