Produktdetails
Es wird hauptsächlich zum Sputtern von Metallen verwendet,nicht jedoch-metallische Werkstoffe oder Legierungen. Die resultierenden Beschichtungen weisen eine hervorragende Haftung, Dichte und Reproduzierbarkeit auf und machen sie zu einem idealen Gerät für Forschungsinstitute, Universitäten und Unternehmen, die sich mit Materialforschung und der Herstellung von Präzisionskomponenten befassen.
Produktanwendungsfälle
Grundlegende technische Spezifikationen
| Modell und Abmessungen | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550 v | ZZS-1800 v | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZs-2700B |
| Abmessungen (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| Bau | Aufrecht, vorne-Öffnung, Edelstahl 304 | |||||||
| Drehzahl | 0–30 U\/min (variabel-Frequenzgeschwindigkeitsregelung) | |||||||
| Pumpgeschwindigkeit | Von Atmosphärendruck auf 3,0×10⁻³ Pa rein ≤15 Minuten (keine Ladung) | |||||||
| Ultimatives Vakuum | 3,0x10－⁴ P | |||||||
| Vorrichtung | Mitte-montiertes drehbares Schirmgestell, einzeln-Stück oder geteilt-Typ | |||||||
| Heizsystem | Gepanzerte Heizung, einstellbar von Umgebungstemperatur bis 350°C | |||||||
| Vakuumsystem | Niedrig-Vakuumpumpen-Set + hoch-Vakuumpumpe + kryogene Falle | |||||||
| Kontrollsystem | Industrielles Steuerungssystem + Touchscreen + SPS, integriertes Handbuch/automatische Steuerung | |||||||
| Gasversorgungssystem | Steuerung des Massendurchflussmessers | |||||||
| Beschichtungssystem | Widerstandsverdampfungsquelle + Elektronenkanone + Ionenquelle | |||||||
| Schichtdickenkontrollsystem | AR, UV/IR-Sperrfilter, AF, Anti-reflektierende Beschichtungen, dekorative Beschichtungen, Bandpassfilter, HR-Beschichtungen usw. |
|||||||
| Beschichtungsanwendungen | Infocare | |||||||
| Stromversorgung | Drei-Phase fünf-Draht 220/380V 50Hz; Spannungsschwankungsbereich: drei-Phase 242–399V, einzeln-Phase 198–231V; Frequenzschwankungsbereich: 49–51 Hz | |||||||
| Wasserversorgung | Industrielles enthärtetes Wasser; Wasserdruck: 0,2–0,6 MPa; Wassereintrittstemperatur ≤25°C | |||||||
| Gasversorgung | 0,4–0,6 MPa | |||||||
Vorherige: Nicht mehr