Produktdetaljer
Det används främst för sputtering av metaller, icke-metalliska material eller legeringar. De resulterande beläggningarna uppvisar utmärkt vidhäftning, densitet och reproducerbarhet, vilket gör den till en idealisk utrustning för forskningsinstitut, universitet och företag som är engagerade i materialforskning och tillverkning av precisionskomponenter.
Produktapplikationsfall
Grundläggande tekniska specifikationer
| Modell och mått | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800B | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZs-2700B |
| Mått (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| Konstruktion | Upprätt, fram-öppning, 304 rostfritt stål | |||||||
| Rotationshastighet | 0–30 RPM (variabel-frekvenshastighetskontroll) | |||||||
| Pumphastighet | Från atmosfärstryck till 3,0×10⁻³ Pa in ≤15 minuter (ingen belastning) | |||||||
| Ultimat vakuum | 3,0x10－⁴ sid | |||||||
| Fixtur | Center-monterad roterande paraplyram, enkel-bit eller delad-typ | |||||||
| Värmesystem | Pansarvärmare, justerbar från omgivningstemperatur till 350 grader°C | |||||||
| Vakuumsystem | Låg-vakuumpumpset + hög-vakuumpump + kryogen fälla | |||||||
| Styrsystem | Industriellt styrsystem + pekskärm + PLC, integrerad manual/automatisk styrning | |||||||
| Gasförsörjningssystem | Massflödesmätare kontroll | |||||||
| Beläggningssystem | Resistiv förångningskälla + elektronpistol + jonkälla | |||||||
| Beläggningstjocklekskontrollsystem | AR, UV/IR cut filter, AF, anti-reflekterande beläggningar, dekorativa beläggningar, bandpassfilter, HR-beläggningar etc. |
|||||||
| Beläggningsapplikationer | Infocare | |||||||
| Strömförsörjning | Tre-fas fem-tråd 220/380V 50Hz; spänningsvariationsområde: tre-fas 242–399V, singel-fas 198–231V; frekvensvariationsområde: 49–51 Hz | |||||||
| Vattenförsörjning | Industriellt avhärdat vatten; vattentryck: 0,2–0,6 MPa; inloppsvattentemperatur ≤25°C | |||||||
| Gasförsörjning | 0,4–0,6 MPa | |||||||
Tidigare: Inte mer