Productdetails
Het wordt voornamelijk gebruikt voor het sputteren van metalen,niet-metalen materialen of legeringen. De resulterende coatings vertonen een uitstekende hechting, dichtheid en reproduceerbaarheid, waardoor het een ideaal apparaat is voor onderzoeksinstituten, universiteiten en ondernemingen die zich bezighouden met materiaalonderzoek en de fabricage van precisiecomponenten.
Producttoepassingsgevallen
Basis technische specificaties
| Model en afmetingen | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800B | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZ's-2700B |
| Afmetingen (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| Bouw | Rechtop, voorkant-opening, roestvrij staal 304 | |||||||
| Rotatiesnelheid | 0–30 tpm (variabel-frequentie snelheidsregeling) | |||||||
| Pompsnelheid | Van atmosferische druknaar 3,0×10⁻³ Pa in ≤15 minuten (geen lading) | |||||||
| Ultiem vacuüm | 3,0x10－⁴ st | |||||||
| Armatuur | Centrum-gemonteerd roterend parapluframe, enkelvoudig-stuk of gesplitst-typ | |||||||
| Verwarmingssysteem | Gepantserde verwarming, instelbaar van omgevingstemperatuur tot 350°C | |||||||
| Vacuümsysteem | Laag-vacuümpomp ingesteld + hoog-vacuümpomp + cryogene val | |||||||
| Controlesysteem | Industrieel controlesysteem + aanraakscherm + PLC, geïntegreerde handleiding/automatische controle | |||||||
| Gastoevoersysteem | Controle van de massastroommeter | |||||||
| Coatingsysteem | Resistieve verdampingsbron + elektronen pistool + ionenbron | |||||||
| Laagdiktecontrolesysteem | AR, UV/IR-cutfilters, AF, anti-reflecterende coatings, decoratieve coatings, banddoorlaatfilters, HR-coatings, enz. |
|||||||
| Coatingtoepassingen | Infozorg | |||||||
| Voeding | Drie-fase vijf-draad 220/380 V 50 Hz; spanningsfluctuatiebereik: drie-fase 242–399V, enkelvoudig-fase 198–231V; frequentiefluctuatiebereik: 49–51 Hz | |||||||
| Watervoorziening | Industrieel onthard water; waterdruk: 0,2–0,6 MPa; temperatuur van het inlaatwater ≤25°C | |||||||
| Gasvoorziening | 0,4–0,6 MPa | |||||||
Vorig: Niet meer
Volgende: Optisch Magnetron-sputtercoatingsysteem