Produktdetaljer
Det bruges primært til sputtering af metaller, ikke-metalliske materialer eller legeringer. De resulterende belægninger udviser fremragende vedhæftning, tæthed og reproducerbarhed, hvilket gør det til et ideelt stykke udstyr til forskningsinstitutter, universiteter og virksomheder, der beskæftiger sig med materialeforskning og fremstilling af præcisionskomponenter.
Produktansøgningssager
Grundlæggende tekniske specifikationer
| Model og dimensioner | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800B | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZs-2700B |
| Dimensioner (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| Byggeri | Opretstående, foran-åbning, 304 rustfrit stål | |||||||
| Rotationshastighed | 0–30 RPM (variabel-frekvens hastighedskontrol) | |||||||
| Pumpehastighed | Fra atmosfærisk tryk til 3,0×10⁻³ Pa ind ≤15 minutter (ingen belastning) | |||||||
| Ultimativt vakuum | 3,0x10－⁴ P | |||||||
| Armatur | Center-monteret roterende paraplyramme, enkelt-stykke eller split-type | |||||||
| Varmesystem | Panservarmer, justerbar fra omgivelsestemperatur til 350°C | |||||||
| Vakuum system | Lavt-vakuum pumpe sæt + høj-vakuumpumpe + kryogen fælde | |||||||
| Kontrolsystem | Industrielt kontrolsystem + berøringsskærm + PLC, integreret manual/automatisk kontrol | |||||||
| Gasforsyningssystem | Masseflowmålerkontrol | |||||||
| Belægningssystem | Resistiv fordampningskilde + elektronkanon + ionkilde | |||||||
| Belægningstykkelse kontrolsystem | AR, UV/IR cut filtre, AF, anti-reflekterende belægninger, dekorative belægninger, båndpasfiltre, HR belægninger mv. |
|||||||
| Belægningsapplikationer | Infocare | |||||||
| Strømforsyning | Tre-fase fem-ledning 220/380V 50Hz; spændingsudsvingsområde: tre-fase 242–399V, enkelt-fase 198–231V; frekvensudsvingsområde: 49–51 Hz | |||||||
| Vandforsyning | Industrielt blødgjort vand; vandtryk: 0,2–0,6 MPa; indløbsvandets temperatur ≤25°C | |||||||
| Gasforsyning | 0,4–0,6 MPa | |||||||
Tidligere: Ikke mere