វាត្រូវបានប្រើជាចម្បងសម្រាប់ sputtering លោហធាតុ, មិនមែន-វត្ថុធាតុលោហធាតុ ឬយ៉ាន់ស្ព័រ។ ថ្នាំកូតលទ្ធផលបង្ហាញពីភាពស្អិតជាប់ ដង់ស៊ីតេ និងភាពអាចផលិតឡើងវិញបានយ៉ាងល្អឥតខ្ចោះ ដែលធ្វើឱ្យវាក្លាយជាឧបករណ៍ដ៏ល្អសម្រាប់វិទ្យាស្ថានស្រាវជ្រាវ សាកលវិទ្យាល័យ និងសហគ្រាសដែលចូលរួមក្នុងការស្រាវជ្រាវសម្ភារៈ និងការប្រឌិតសមាសធាតុច្បាស់លាស់។
លក្ខណៈបច្ចេកទេសជាមូលដ្ឋាន
| ម៉ូដែលនិងវិមាត្រ |
ZZS-550 ប៊ី |
ZZS-៨០០ ប៊ី |
ZZS-៣០០ ប៊ី |
ZZS-១៥៥០ ប៊ី |
ZZS-1800B |
ZZS-2050B |
ZZS-២៣៥០ ប |
ZZs-2700B |
| វិមាត្រ (ម) |
550xH680 |
៨០០xH៩០០ |
1300xH1500 |
១៥៥០xH១៧០០ |
1800xH1800 |
2050xH1500 |
2350xH1500 |
២៧០០xH១៨៥០ |
| សំណង់ |
បញ្ឈរ, ខាងមុខ-ការបើក, ដែកអ៊ីណុក 304 |
| ល្បឿនបង្វិល |
0–30 RPM (អថេរ-ការត្រួតពិនិត្យល្បឿនប្រេកង់) |
| ល្បឿនបូម |
ពីសម្ពាធបរិយាកាសដល់ 3.0×១០⁻³ ប៉ាចូល ≤15 នាទី។ (គ្មានបន្ទុក) |
| ម៉ាស៊ីនបូមធូលីចុងក្រោយ |
3.0x10-⁴ P |
| ឧបករណ៍ភ្ជាប់ |
មជ្ឈមណ្ឌល-បានម៉ោនស៊ុមឆ័ត្របង្វិល, ទោល។-បំណែកឬបំបែក-ប្រភេទ |
| ប្រព័ន្ធកំដៅ |
ឧបករណ៍កម្តៅពាសដែក អាចលៃតម្រូវបានពីសីតុណ្ហភាពព័ទ្ធជុំវិញដល់ 350°គ |
| ប្រព័ន្ធបូមធូលី |
ទាប-សំណុំបូមធូលី + ខ្ពស់។-ម៉ាស៊ីនបូមធូលី + អន្ទាក់ cryogenic |
| ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យ |
ប្រព័ន្ធគ្រប់គ្រងឧស្សាហកម្ម + អេក្រង់ប៉ះ + PLC, សៀវភៅណែនាំរួមបញ្ចូលគ្នា/ការគ្រប់គ្រងដោយស្វ័យប្រវត្តិ |
| ប្រព័ន្ធផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័ន |
ការគ្រប់គ្រងម៉ែត្រលំហូរ |
| ប្រព័ន្ធថ្នាំកូត |
ប្រភពនៃការហួតដែលធន់ទ្រាំ + កាំភ្លើងអេឡិចត្រុង + ប្រភពអ៊ីយ៉ុង |
| ប្រព័ន្ធត្រួតពិនិត្យភាពក្រាស់នៃថ្នាំកូត |
AR, កាំរស្មីយូវី/តម្រងកាត់ IR, AF, ប្រឆាំង-ថ្នាំកូតឆ្លុះបញ្ចាំង, ថ្នាំកូតតុបតែង, តម្រង bandpass, ថ្នាំកូត HR ។ល។ |
| ការលាបថ្នាំ |
ព័ត៌មានថែទាំ |
| ការផ្គត់ផ្គង់ថាមពល |
បី-ដំណាក់កាលទីប្រាំ-ខ្សែ 220/380V 50Hz; ជួរប្រែប្រួលវ៉ុល៖ បី-ដំណាក់កាល 242–399V, នៅលីវ-ដំណាក់កាល 198–231V; ជួរប្រែប្រួលប្រេកង់: 49–51 ហឺត |
| ការផ្គត់ផ្គង់ទឹក។ |
ទឹកទន់ឧស្សាហកម្ម; សម្ពាធទឹក: 0.2–0.6 MPa; សីតុណ្ហភាពទឹកចូល ≤២៥°គ |
| ការផ្គត់ផ្គង់ឧស្ម័ន |
០.៤–0.6 MPa |