É usado principalmente para pulverização catódica de metais,não-materiais metálicos ou ligas. Os revestimentos resultantes apresentam excelente adesão, densidade e reprodutibilidade, tornando-os um equipamento ideal para institutos de pesquisa, universidades e empresas envolvidasna pesquisa de materiais ena fabricação de componentes de precisão.
Casos de aplicação de produtos
Especificações Técnicas Básicas
| Modelo e Dimensões |
ZZS-550B |
ZZS-800B |
ZZS-300B |
ZZS-1550B |
ZZS-1800B |
ZZS-2050B |
ZZS-2350B |
ZZ-2700B |
| Dimensões (milímetros) |
550xH680 |
800xH900 |
1300xH1500 |
1550xH1700 |
1800xH1800 |
2050xH1500 |
2350xH1500 |
2700xH1850 |
| Construção |
Vertical, frontal-abertura, aço inoxidável 304 |
| Velocidade rotacional |
0–30 rpm (variável-controle de velocidade de frequência) |
| Velocidade de bombeamento |
Da pressão atmosférica a 3,0×10⁻³ Pa em ≤15 minutos (sem carga) |
| Vácuo final |
3,0x10-⁴P |
| Calendário |
Centro-estrutura de guarda-chuva giratória montada, simples-peça ou divisão-tipo |
| Sistema de aquecimento |
Aquecedor blindado, ajustável da temperatura ambiente até 350°C |
| Sistema de vácuo |
Baixo-conjunto de bomba de vácuo + alto-bomba de vácuo + armadilha criogênica |
| Sistema de controle |
Sistema de controle industrial + tela sensível ao toque + PLC, manual integrado/controle automático |
| Sistema de abastecimento de gás |
Controle do medidor de fluxo de massa |
| Sistema de revestimento |
Fonte de evaporação resistiva + arma de elétrons + fonte de íons |
| Sistema de controle de espessura de revestimento |
AR, UV/Filtros de corte IR, AF, anti-revestimentos reflexivos, revestimentos decorativos, filtros passa-banda, Revestimentos HR, etc. |
| Aplicações de revestimento |
Informações |
| Fonte de alimentação |
Três-fase cinco-fio 220/380V 50Hz; faixa de flutuação de tensão: três-fase 242–399 V, único-fase 198–231V; faixa de flutuação de frequência: 49–51Hz |
| Abastecimento de Água |
Água descalcificada industrial; pressão da água: 0,2–0,6 MPa; temperatura da água de entrada ≤25°C |
| Fornecimento de Gás |
0,4–0,6MPa |