Detail Produk
Ini terutama digunakan untuk sputtering logam, bukan-bahan logam, atau paduan. Lapisan yang dihasilkan menunjukkan daya rekat, kepadatan, dan reproduktifitas yang sangat baik, menjadikannya peralatan yang ideal untuk lembaga penelitian, universitas, dan perusahaan yang terlibat dalam penelitian material dan pembuatan komponen presisi.
Kasus Aplikasi Produk
Spesifikasi Teknis Dasar
| Model dan Dimensi | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800B | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZ-2700B |
| Dimensi (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| Konstruksi | Tegak, depan-bukaan, baja tahan karat 304 | |||||||
| Kecepatan Rotasi | 0–30 RPM (variabel-kontrol kecepatan frekuensi) | |||||||
| Kecepatan Pemompaan | Dari tekanan atmosfer hingga 3,0×10⁻³ Masuk ≤15 menit (tidak ada beban) | |||||||
| Vakum Tertinggi | 3,0x10－⁴ Hal | |||||||
| Perlengkapan | Pusat-dipasang rangka payung berputar, tunggal-sepotong atau terbelah-mengetik | |||||||
| Sistem Pemanas | Pemanas lapis baja, dapat disesuaikan dari suhu sekitar hingga 350°C | |||||||
| Sistem Vakum | Rendah-set pompa vakum + tinggi-pompa vakum + perangkap kriogenik | |||||||
| Sistem Pengendalian | Sistem kendali industri + layar sentuh + PLC, manual terintegrasi/kontrol otomatis | |||||||
| Sistem Pasokan Gas | Kontrol pengukur aliran massa | |||||||
| Sistem Pelapisan | Sumber penguapan resistif + senjata elektron + sumber ion | |||||||
| Sistem Kontrol Ketebalan Lapisan | AR, UV/Filter potong IR, AF, anti-pelapis reflektif, pelapis dekoratif, filter bandpass, Pelapis HR, dll. |
|||||||
| Aplikasi Pelapisan | Perawatan Info | |||||||
| Catu Daya | Tiga-fase lima-kawat 220/380V 50Hz; rentang fluktuasi tegangan: tiga-fase 242–399V, tunggal-fase 198–231V; rentang fluktuasi frekuensi: 49–51Hz | |||||||
| Pasokan Air | Air lunak industri; tekanan air: 0,2–0,6 MPa; suhu air masuk ≤25°C | |||||||
| Pasokan Gas | 0,4–0,6 MPa | |||||||
Sebelumnya: Tidak Ada Lagi
Berikutnya: Sistem Pelapisan Sputtering Magnetron Optik