製品詳細
主に金属のスパッタリングに使用されます。-金属材料、または合金。得られたコーティングは密着性、密度、再現性に優れており、材料研究や精密部品の製造に携わる研究機関、大学、企業にとって理想的な装置となっています。
製品適用事例
基本的な技術仕様
| 型式と寸法 | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800B | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZ-2700B |
| 寸法 (mm) | 550×H680 | 800×H900 | 1300×H1500 | 1550×H1700 | 1800×H1800 | 2050×H1500 | 2350×H1500 | 2700×H1850 |
| 建設 | 直立、正面-開口部、304 ステンレス鋼 | |||||||
| 回転速度 | 0–30RPM (変数-周波数速度制御) | |||||||
| 排気速度 | 大気圧から3.0まで×10⁻³ パイン ≤15分 (無負荷) | |||||||
| 極限真空 | 3.0x10－⁴ P | |||||||
| 治具 | センター-取り付けられた回転傘フレーム、シングル-断片または分割-タイプ | |||||||
| 暖房システム | 装甲ヒーター、周囲温度から 350℃まで調整可能°C | |||||||
| 真空システム | 低い-真空ポンプセット + 高い-真空ポンプ + 極低温トラップ | |||||||
| 制御システム | 産業用制御システム + タッチスクリーン + PLC、統合マニュアル/自動制御 | |||||||
| ガス供給システム | マスフローメータ制御 | |||||||
| コーティングシステム | 抵抗蒸発源 + 電子銃 + イオン源 | |||||||
| 膜厚制御システム | AR、UV/IRカットフィルター、AF、アンチ-反射コーティング、装飾コーティング、バンドパスフィルター、 HRコーティングなど |
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| コーティング用途 | インフォケア | |||||||
| 電源 | 3-フェーズ5-ワイヤー220/380V 50Hz;電圧変動範囲：3-フェーズ242–399V、シングル-フェーズ198–231V;周波数変動範囲：49–51Hz | |||||||
| 給水 | 工業用軟水。水圧：0.2–0.6MPa;入口水温 ≤25°C | |||||||
| ガス供給 | 0.4–0.6MPa | |||||||
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