Dettagli del prodotto
Viene utilizzato principalmente per lo sputtering di metalli,non-materiali metallici o leghe. I rivestimenti risultanti mostrano eccellente adesione, densità e riproducibilità, rendendolo un pezzo di attrezzatura ideale per istituti di ricerca, università e imprese impegnatenella ricerca sui materiali enella fabbricazione di componenti di precisione.
Casi di applicazione del prodotto
Specifiche tecniche di base
| Modello e dimensioni | ZZS-550B | ZZS-800B | ZZS-300B | ZZS-1550B | ZZS-1800 a.C | ZZS-2050B | ZZS-2350B | ZZ-2700B |
| Dimensioni (mm) | 550xH680 | 800xH900 | 1300xH1500 | 1550xH1700 | 1800xH1800 | 2050xH1500 | 2350xH1500 | 2700xH1850 |
| Costruzione | In posizione verticale, anteriore-apertura, acciaio inossidabile 304 | |||||||
| Velocità di rotazione | 0–30 giri al minuto (variabile-controllo della velocità di frequenza) | |||||||
| Velocità di pompaggio | Dalla pressione atmosferica a 3.0×10⁻³ Papà dentro ≤15 minuti (nessun carico) | |||||||
| Vuoto definitivo | 3.0x10－⁴ P | |||||||
| Apparecchio | Centro-portaombrellone girevole montato, singolo-pezzo o diviso-tipo | |||||||
| Sistema di riscaldamento | Riscaldatore corazzato, regolabile da temperatura ambiente a 350°C | |||||||
| Sistema di vuoto | Basso-set pompa per vuoto + alto-pompa a vuoto + trappola criogenica | |||||||
| Sistema di controllo | Sistema di controllo industriale + touchscreen + PLC, manuale integrato/controllo automatico | |||||||
| Sistema di fornitura di gas | Controllo del flussometro di massa | |||||||
| Sistema di rivestimento | Sorgente di evaporazione resistiva + cannone elettronico + sorgente ionica | |||||||
| Sistema di controllo dello spessore del rivestimento | AR, UV/Filtri taglia IR, AF, anti-rivestimenti riflettenti, rivestimenti decorativi, filtri passa banda, Rivestimenti HR, ecc. |
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| Applicazioni di rivestimento | Infocare | |||||||
| Alimentazione | Tre-fase cinque-filo 220/380 V 50 Hz; intervallo di fluttuazione della tensione: tre-fase 242–399V, singolo-fase 198–231 V; intervallo di fluttuazione della frequenza: 49–51 Hz | |||||||
| Fornitura d'acqua | Acqua addolcita industriale; pressione dell'acqua: 0,2–0,6MPa; temperatura dell'acqua in ingresso ≤25°C | |||||||
| Fornitura di gas | 0.4–0,6 MPa | |||||||
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