এটা প্রাথমিকভাবে ধাতু sputtering জন্য ব্যবহৃত হয়, অ-ধাতব পদার্থ, বা সংকর ধাতু। ফলস্বরূপ আবরণগুলি চমৎকার আনুগত্য, ঘনত্ব এবং পুনরুত্পাদনযোগ্যতা প্রদর্শন করে, যা এটিকে গবেষণা প্রতিষ্ঠান, বিশ্ববিদ্যালয় এবং উপকরণ গবেষণা এবং নির্ভুল উপাদান তৈরিতে নিযুক্ত উদ্যোগগুলির জন্য একটি আদর্শ সরঞ্জাম তৈরি করে।
বেসিক টেকনিক্যাল স্পেসিফিকেশন
| মডেল এবং মাত্রা |
ZZS-550B |
ZZS-800B |
ZZS-300B |
ZZS-1550B |
ZZS-1800B |
ZZS-2050B |
ZZS-2350B |
ZZs-2700B |
| মাত্রা (মিমি) |
550xH680 |
800xH900 |
1300xH1500 |
1550xH1700 |
1800xH1800 |
2050xH1500 |
2350xH1500 |
2700xH1850 |
| নির্মাণ |
সোজা, সামনে-খোলার, 304 স্টেইনলেস স্টীল |
| ঘূর্ণন গতি |
0–30 RPM (পরিবর্তনশীল-ফ্রিকোয়েন্সি গতি নিয়ন্ত্রণ) |
| পাম্পিং গতি |
বায়ুমণ্ডলীয় চাপ থেকে 3.0 পর্যন্ত×10⁻³ পা ইন ≤15 মিনিট (কোন লোড) |
| চূড়ান্ত ভ্যাকুয়াম |
3.0x10-⁴ P |
| ফিক্সচার |
কেন্দ্র-মাউন্ট ঘূর্ণন ছাতা ফ্রেম, একক-টুকরা বা বিভক্ত-প্রকার |
| হিটিং সিস্টেম |
সাঁজোয়া হিটার, পরিবেষ্টিত তাপমাত্রা থেকে 350 পর্যন্ত সামঞ্জস্যযোগ্য°গ |
| ভ্যাকুয়াম সিস্টেম |
কম-ভ্যাকুয়াম পাম্প সেট + উচ্চ-ভ্যাকুয়াম পাম্প + ক্রায়োজেনিক ফাঁদ |
| কন্ট্রোল সিস্টেম |
শিল্প নিয়ন্ত্রণ ব্যবস্থা + টাচস্ক্রিন + পিএলসি, ইন্টিগ্রেটেড ম্যানুয়াল/স্বয়ংক্রিয় নিয়ন্ত্রণ |
| গ্যাস সরবরাহ ব্যবস্থা |
ভর প্রবাহ মিটার নিয়ন্ত্রণ |
| আবরণ সিস্টেম |
প্রতিরোধী বাষ্পীভবন উৎস + ইলেক্ট্রন বন্দুক + আয়ন উৎস |
| আবরণ পুরুত্ব নিয়ন্ত্রণ সিস্টেম |
এআর, ইউভি/আইআর কাট ফিল্টার, এএফ, এন্টি-প্রতিফলিত আবরণ, আলংকারিক আবরণ, ব্যান্ডপাস ফিল্টার, এইচআর আবরণ, ইত্যাদি |
| আবরণ অ্যাপ্লিকেশন |
ইনফোকেয়ার |
| পাওয়ার সাপ্লাই |
তিন-পর্যায় পাঁচ-তার 220/380V 50Hz; ভোল্টেজ ওঠানামা পরিসীমা: তিন-ফেজ 242–399V, একক-ফেজ 198–231V; ফ্রিকোয়েন্সি ওঠানামা পরিসীমা: 49–51 Hz |
| জল সরবরাহ |
শিল্প নরম জল; জলের চাপ: 0.2–0.6 MPa; ইনলেট জল তাপমাত্রা ≤25°গ |
| গ্যাস সরবরাহ |
0.4–0.6 এমপিএ |